[发明专利]一种光学薄膜滤光片的制作方法在审
| 申请号： | 201711457347.9 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108121023A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 姚舜;李春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学薄膜滤光片的制作方法，包括：提供一基板；在基板的正面形成第一膜系；获取第一膜系的第一应力值，且依据第一应力值计算得出基板的第一面形变化量；在基板的背面形成第二膜系；获取第二膜系的第二应力值，且依据第二应力值计算得出基板的第二面形变化量；其中，第一膜系的应力以及第二膜系的应力分别为张应力，或第一膜系的应力以及第二膜系的应力分别为压应力，第一面形变化量与第二面形变化量叠加后满足目标需求。该制作方法可以有效控制所制备的光学薄膜滤光片中薄膜的应力。 | ||
| 搜索关键词： | 膜系 基板 面形变化 光学薄膜滤光片 制作 光学薄膜 目标需求 有效控制 压应力 张应力 滤光 制备 薄膜 叠加 背面 | ||
【主权项】：
一种光学薄膜滤光片的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：提供一基板；在所述基板的正面形成第一膜系；获取所述第一膜系的第一应力值，且依据所述第一应力值计算得出所述基板的第一面形变化量；在所述基板的背面形成第二膜系；获取所述第二膜系的第二应力值，且依据所述第二应力值计算得出所述基板的第二面形变化量；其中，所述第一膜系的应力以及所述第二膜系的应力分别为张应力，或所述第一膜系的应力以及所述第二膜系的应力分别为压应力，所述第一面形变化量与所述第二面形变化量叠加后满足目标需求。
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