[发明专利]静电侦测装置有效
| 申请号： | 201711456473.2 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109975622B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 唐敏注;汤士源;黄玉婷 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24;G01R29/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种静电侦测装置，适于侦测待测物，所述的静电侦测装置包含载板、感测电极、介电膜层及接地电极。载板具有第一表面及相对于第一表面的第二表面。感测电极设于第一表面上且具有感测面，所述的感测面背向第一表面且用于面向待测物。介电膜层设于第二表面且介电膜层的介电常数大于1。接地电极与感测电极间隔设置，且介电膜层位于感测电极与接地电极之间。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 侦测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种静电侦测装置，适于侦测一待测物，其特征在于，该静电侦测装置包含：载板，具有第一表面及相对于该第一表面的第二表面；感测电极，设于该第一表面上且具有一感测面，该感测面背向该第一表面且用于面向该待测物；介电膜层，设于该第二表面且该介电膜层的介电常数大于1；以及接地电极，与该感测电极间隔设置，且该介电膜层位于该感测电极与该接地电极之间。
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