[发明专利]静电侦测装置

说明书

本发明公开一种静电侦测装置，适于侦测待测物，所述的静电侦测装置包含载板、感测电极、介电膜层及接地电极。载板具有第一表面及相对于第一表面的第二表面。感测电极设于第一表面上且具有感测面，所述的感测面背向第一表面且用于面向待测物。介电膜层设于第二表面且介电膜层的介电常数大于1。接地电极与感测电极间隔设置，且介电膜层位于感测电极与接地电极之间。

技术领域

本发明涉及一种静电侦测装置，特别是涉及一种具有高介电常数的介电膜层的静电侦测装置。

背景技术

随着科技的发展及市场需求，电子产品如智能型手机、平板等设计趋势，均朝向轻、薄、短、小及多功能发展，然而这却使得装配于模块中的电子元/组件于高精密且微型化的制造过程中，经常会遇到突发性静电干扰，从而导致元件或模块结构被击穿破坏而功能失效，进一步影响生产良率及产品品质。

再者，现有的静电感测器大都属于手持式或定点测量，无法满足即时监测需求。另外，静电侦测器正朝向逐渐开始与机台进行整合发展。然而，对于狭小的侦测空间来说，近距侦测会导致元件感度因瞬间高静电量而失效的问题，为本领域的极需解决的问题之一。

发明内容

本发明的目的在于提出一种静电侦测装置，通过具有高介电常数的介电膜层结合于感测电极，以调控电场型分布及静电侦测动态范围。

为达上述目的，本发明公开一种静电侦测装置，适于侦测待测物。所述的静电侦测装置包含载板、感测电极、介电膜层及接地电极。载板具有第一表面及相对于第一表面的第二表面。感测电极设于第一表面上且具有感测面，所述的感测面背向第一表面且用于面向待测物。介电膜层设于第二表面。接地电极与感测电极间隔设置，且介电膜层位于感测电极与接地电极之间。

本发明还公开一种静电侦测装置，适于侦测待测物。所述的静电侦测装置包含载板、感测电极、介电膜层及接地电极。载板具有第一表面及相对于第一表面的第二表面。感测电极设于第一表面上且具有感测面。所述的感测面背向第一表面。介电膜层设于感测电极的感测面上，且用于与待测物间隔设置。接地电极与载板间隔设置，且第二表面朝向接地电极。

综上所述，在本发明的静电侦测装置中，主要通过将介电膜层与感测电极整合作为侦测结构主体，以操控空间电场分布及调整静电侦测动态范围，快速解析出待测物表面的静电压分布，以取得即时干扰监控信息，进而解决瞬间高静电量使元件进入侦测饱和区导致感度失效的问题，另一方面，也可以提升静电侦测装置的感测强度。

以上的关于本发明的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明的一实施例所绘示的静电侦测装置的结构示意图；

图2为本发明的一实施例所绘示的静电侦测装置对应不同介电常数k的感应电压变化示意图；

图3为本发明的一实施例所绘示的不同介电膜层对于感测信号的变化示意图；

图4为本发明的一实施例所绘示的不同介电膜层对侦测动态范围测试示意图；

图5为本发明的另一实施例所绘示的静电侦测装置的结构示意图；

图6为本发明的一实施例所绘示的感测度的变化示意图。

符号说明

1、3 静电侦测装置

10、30 载板

12、32 感测电极

14、34 介电膜层

16、36 接地电极

20、40 待测物

501 电源供应单元