[发明专利]真空管式微波加热被碳炉

摘要

本发明提供了一种真空管式微波加热被碳炉，涉及高温真空镀膜设备技术领域，解决了炉内加热温度场不均，电阻器碳膜电阻值不一致的技术问题。该真空管式微波加热被碳炉包括炉体、磁控管、带有夹套的双层真空石英管和吸波发热材料，磁控管设置在炉体上，磁控管通电后能向炉体内腔中发出微波；真空石英管转动设置在炉体内，被处理工件放置在真空石英管内进行镀碳膜处理；真空石英管夹套内的吸波发热材料吸收微波后能够发热，炉体内还设置有透微波材料制成的隔热保温层。本发明是一种材料烧结新方法，具有升温速度快、能源利用率高、加热效率高、物料温度场均匀、工艺可控性好、工艺周期短、产品均匀性好、成品率高的特点。 1

主权项

1.一种真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：包括炉体(1)、磁控管(2)、双层真空石英管(3)和吸波发热材料(4)，其中：

所述磁控管(2)设置在所述炉体(1)上，所述磁控管(2)通电后能向所述炉体(1)内腔中发出微波；

所述双层真空石英管(3)转动设置在所述炉体(1)内，被处理工件放置在所述双层真空石英管(3)内进行镀碳膜处理；

所述吸波发热材料(4)填充在所述双层真空石英管(3)的夹套内，所述吸波发热材料(4)吸收微波后能够发热。

2.根据权利要求1所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：所述炉体(1)前后两侧壁上均开设有至少一个用于安装所述双层真空石英管(3)的安装口(11)，所有的所述安装口(11)在水平方向上并排设置，所述双层真空石英管(3)与所述安装口(11)之间通过轴承连接。

3.根据权利要求1所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：所述吸波发热材料(4)为碳化硅粉、氧化锌粉、石墨粉、氧化铁粉中的一种或多种混合物。

4.根据权利要求1‑3中任一项所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：还包括滚动装置(5)，所述滚动装置(5)包括主动滚轮(51)、辅助滚轮(52)和驱动装置(53)，所述主动滚轮(51)和所述辅助滚轮(52)均转动设置在所述炉体(1)外侧，所述驱动装置(53)与所述主动滚轮(51)传动连接，所述辅助滚轮(52)设置在所述主动滚轮(51)两侧，所述双层真空石英管(3)一端放置在所述主动滚轮(51)和所述辅助滚轮(52)之间，所述主动滚轮(51)旋转能带动所述双层真空石英管(3)和所述辅助滚轮(52)旋转。

5.根据权利要求4所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：所述主动滚轮(51)数量为至少两个，所述辅助滚轮(52)的数量为所述主动滚轮(51)数量的两倍。

6.根据权利要求5所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：所述驱动装置(53)包括电机(531)、主动齿轮(532)和从动齿轮(533)，所述电机(531)设置在所述炉体(1)外侧的支撑架(12)上，所述主动齿轮(532)设置在所述炉体(1)下方，所述从动齿轮(533)设置在所述主动滚轮(51)末端，所述电机(531)输出轴与所述主动齿轮(532)传动连接，所述主动齿轮(532)通过链条(534)与所有的所述从动齿轮(533)连接，相邻两个所述从动齿轮(533)之间设置有导向轮(535)，所述导向轮(535)在竖直方向位于所述主动齿轮(532)和所述从动齿轮(533)之间。

7.根据权利要求1所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：所述炉体(1)内侧壁上设置有隔热保温层(13)，所述磁控管(2)位于所述隔热保温层(13)里侧。

8.根据权利要求1所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：所述磁控管(2)发出的微波频率范围是2.45GHz±25MHz。

9.根据权利要求4所述的真空管式微波加热被碳炉，其特征在于：所述炉体(1)内还设置有红外测温仪和热电偶测温仪，所述炉体(1)外侧壁上设置有触摸屏和控制面板，所述控制面板与所述触摸屏、所述磁控管(2)、所述红外测温仪、所述热电偶测温仪和所述驱动装置(53)电连接。