[发明专利]真空管式微波加热被碳炉

说明书

本发明提供了一种真空管式微波加热被碳炉，涉及高温真空镀膜设备技术领域，解决了炉内加热温度场不均，电阻器碳膜电阻值不一致的技术问题。该真空管式微波加热被碳炉包括炉体、磁控管、带有夹套的双层真空石英管和吸波发热材料，磁控管设置在炉体上，磁控管通电后能向炉体内腔中发出微波；真空石英管转动设置在炉体内，被处理工件放置在真空石英管内进行镀碳膜处理；真空石英管夹套内的吸波发热材料吸收微波后能够发热，炉体内还设置有透微波材料制成的隔热保温层。本发明是一种材料烧结新方法，具有升温速度快、能源利用率高、加热效率高、物料温度场均匀、工艺可控性好、工艺周期短、产品均匀性好、成品率高的特点。

技术领域

本发明涉及高温真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种真空管式微波加热被碳炉。

背景技术

碳膜电阻器是膜式电阻器(Film Resistors)中的一种。它是采用高温真空镀膜技术将碳紧密附在瓷棒表面形成碳膜(碳膜电阻器是用有机粘合剂将碳墨、石墨和填充料配成悬浮液涂覆于绝缘基体上，经加热聚合而成。气态碳氢化合物在高温和真空中分解，碳沉积在瓷棒或者瓷管上，形成一层结晶碳膜)。然后加适当接头切割，并在其表面涂上环氧树脂密封保护而成的。碳膜的厚度决定阻值的大小，通常用控制膜的厚度和刻槽来控制电阻器。

本申请人发现现有技术至少存在以下技术问题：

传统的生产碳膜电阻器的被碳炉，其加热是依靠发热体如碳化硅棒或电阻丝通电后发热，热能通过对流、传导或辐射方式传递至真空石英管内的氧化铝陶瓷体上，热量从石英管外部向内部传递，烧结时间长；而且在热传导过程中，由于石英管两端距离炉体边部近，会有外部空气通过对流进入到炉体内，从而形成石英管两端与中间存在温度场不均的问题，进而难以得到阻值一致的氧化铝电阻器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空管式微波加热被碳炉，以解决现有技术中存在的炉内加热温度场不均，电阻器电阻值不一致的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：

本发明提供的一种真空管式微波加热被碳炉，包括炉体、磁控管、双层真空石英管和吸波发热材料，其中：

所述磁控管设置在所述炉体上，所述磁控管通电后能向所述炉体内腔中发出微波；

所述双层真空石英管转动设置在所述炉体内，被处理工件放置在所述双层真空石英管内进行镀碳膜处理；

所述吸波发热材料填充在所述双层真空石英管的夹套内，所述吸波发热材料吸收微波后能够发热。

作为本发明的另一种改进，所述炉体前后两侧壁上均开设有至少一个用于安装所述双层真空石英管的安装口，所有的所述安装口在水平方向上并排设置，所述双层真空石英管与所述安装口之间通过轴承连接。

作为本发明的另一种改进，所述吸波发热材料为碳化硅粉、氧化锌粉、石墨粉、氧化铁粉中的一种或多种混合物。

作为本发明的另一种改进，还包括滚动装置，所述滚动装置包括主动滚轮、辅助滚轮和驱动装置，所述主动滚轮和所述辅助滚轮均转动设置在所述炉体外侧，所述驱动装置与所述主动滚轮传动连接，所述辅助滚轮设置在所述主动滚轮两侧，所述双层真空石英管一端放置在所述主动滚轮和所述辅助滚轮之间，所述主动滚轮旋转能带动所述双层真空石英管和所述辅助滚轮旋转。

作为本发明的另一种改进，所述主动滚轮数量为至少两个，所述辅助滚轮的数量为所述主动滚轮数量的两倍。

作为本发明的另一种改进，所述驱动装置包括电机、主动齿轮和从动齿轮，所述电机设置在所述炉体外侧的支撑架上，所述主动齿轮设置在所述炉体下方，所述从动齿轮设置在所述主动滚轮末端，所述电机输出轴与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮通过链条与所有的所述从动齿轮连接，相邻两个所述从动齿轮之间设置有导向轮，所述导向轮在竖直方向位于所述主动齿轮和所述从动齿轮之间。