[发明专利]适用于脉冲激光镀膜的加热装置及其脉冲激光镀膜装置有效
| 申请号： | 201711451137.9 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108220888B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 朱佳敏;赵跃;陈思侃;高中赫;陈永春;陈明慧;常同旭;姚林朋 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 31236 上海汉声知识产权代理有限公司 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种适用于脉冲激光镀膜的加热装置及其脉冲激光镀膜装置，包括镀膜腔体(3)；镀膜腔体(3)包括加热系统(35)；加热系统(35)对基带(336)进行加热。所述加热系统(35)，包含加热滚筒(351)、加热灯管组(352)、热反射墙(354)。在基带(336)的宽度方向上，反射墙水冷管(3541)位于补偿加热灯管(353)的外侧，使得基带(336)所在处的温度梯度的数值在热反射墙(354)处降低，且在热反射墙(354)与靶材(341)之间处升高，使得温度梯度等值或者趋向于等值，能够提高镀膜产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲激光镀膜 加热系统 热反射墙 基带 镀膜腔体 加热装置 温度梯度 加热灯管组 补偿加热 镀膜产品 加热滚筒 灯管 水冷管 所在处 靶材 反射 加热 升高 | ||
【主权项】：
1.一种适用于脉冲激光镀膜的加热装置，其特征在于，包括镀膜腔体(3)；镀膜腔体(3)包括加热系统(35)；/n加热系统(35)对基带(336)进行加热；/n所述加热系统(35)，还包含补偿加热灯管(353)；/n补偿加热灯管(353)安装于热反射墙(354)与靶材(341)之间以及各热反射墙(354)之间；/n反射墙水冷管(3541)设置于热反射墙(354)的外侧壁；/n所述加热系统(35)，包含加热滚筒(351)、加热灯管组(352)、热反射墙(354)；/n加热滚筒(351)内安装了加热灯管组(352)对滚筒进行了加热，从而加热了紧贴于滚筒上的基带(336)；加热滚筒(351)外侧由热反射墙(354)，靶材(341)组合形成对加热滚筒(351)包裹；热反射墙(354)表面留有开口让脉冲激光光束(21)通过打到靶材(341)表面；热反射墙(354)外壁贴着反射墙水冷管(3541)以调节热反射墙(354)自身温度。/n
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