[发明专利]适用于脉冲激光镀膜的加热装置及其脉冲激光镀膜装置

权利要求书

1.一种适用于脉冲激光镀膜的加热装置，其特征在于，包括镀膜腔体(3)；镀膜腔体(3)包括加热系统(35)；

加热系统(35)对基带(336)进行加热；

所述加热系统(35)，还包含补偿加热灯管(353)；

补偿加热灯管(353)安装于热反射墙(354)与靶材(341)之间以及各热反射墙(354)之间；

反射墙水冷管(3541)设置于热反射墙(354)的外侧壁；

所述加热系统(35)，包含加热滚筒(351)、加热灯管组(352)、热反射墙(354)；

加热滚筒(351)内安装了加热灯管组(352)对滚筒进行了加热，从而加热了紧贴于滚筒上的基带(336)；加热滚筒(351)外侧由热反射墙(354)，靶材(341)组合形成对加热滚筒(351)包裹；热反射墙(354)表面留有开口让脉冲激光光束(21)通过打到靶材(341)表面；热反射墙(354)外壁贴着反射墙水冷管(3541)以调节热反射墙(354)自身温度。

2.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的加热装置，其特征在于，在基带(336)的宽度方向上，反射墙水冷管(3541)位于补偿加热灯管(353)的外侧，使得基带(336)所在处的温度梯度的数值在热反射墙(354)处降低，且在热反射墙(354)与靶材(341)之间处升高，使得温度梯度等值或者趋向于等值。

3.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的加热装置，其特征在于，热反射墙(354)构成加热灯管组(352)的包裹腔体(355)；

包裹腔体(355)设置有通光孔、靶材对接孔，脉冲激光光束(21)通过该通光孔进入包裹腔体(355)内部后，经过靶材对接孔(3551)到达位于包裹腔体(355)外部的靶材(341)；

靶材(341)与靶材对接孔(3551)之间的间隙形成允许靶材(341)移动的行程空间(356)；补偿加热灯管(353)对行程空间(356)加热。

4.根据权利要求1所述的适用于脉冲激光镀膜的加热装置，其特征在于，所述镀膜腔体(3)，包括腔室本体(31)、真空系统(32)、走带系统(33)、走靶系统(34)；

腔室本体(31)在真空系统(32)的作用下抽真空，走带系统(33)将多道往复的卷绕基带(336)动态在沉积镀膜区通过，加热系统(35)对沉积镀膜区的基带(336)进行加热，走靶系统(34)将靶材(341)进行转动和/或平动使整个靶材(341)表面均匀接收到脉冲激光形成羽辉(211)，将靶材(341)的材料溅射到多道往复动态通过沉积镀膜区的卷绕基带(336)上，形成超导层。

5.根据权利要求4所述的适用于脉冲激光镀膜的加热装置，其特征在于，所述多道往复动态通过沉积镀膜区的卷绕基带(336)沿直线排布，羽辉(211)仅溅射到所述多道往复动态通过沉积镀膜区的卷绕基带(336)中沿直线方向排布位于中间的几道基带(336)上。

6.根据权利要求4所述的适用于脉冲激光镀膜的加热装置，其特征在于，所述走带系统(33)，包含两个独立收放卷系统(331)、卷对卷多道往复机构(332)、编码器(333)、张力传感器(334)和导轮(335)；每个独立收放卷系统(331)包含通过轴依次级联的电机(3311)、齿轮箱(3312)、磁粉离合器(3313)、联轴器(3314)、磁流体密封件(3315)、带材盘(3316)，带材盘(3316)能够进行收卷或者放卷；磁流体密封件(3315)用于腔室本体(31)和轴之间的旋转密封；卷对卷多道往复机构(332)一侧为一个或多个相互独立的走带轮(3321)，另一侧为加热滚筒(351)；基带(336)从一个独立收放卷系统(331)的带材盘(3316)中拉出后经过卷对卷多道往复结构(332)收卷入另一个独立收放卷系统(331)的带材盘(3316)中，途中经过一个或多个导轮(335)的导向，编码器(333)、张力传感器(334)紧贴基带(336)表面，测试基带(336)走过的距离、张力、线速度；通过实时距离、张力、线速度的反馈控制电机(3311)、磁粉离合器(3313)能够使带材在一侧加热的状态下，保持恒张力、恒线速度的运行，且可选择走带方向。