[发明专利]大孔径声光可调滤光器有效
| 申请号： | 201711449207.7 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108107610B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张泽红;何晓亮;王晓新 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | G02F1/11 | 分类号： | G02F1/11 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大孔径声光可调滤光器，包括声光介质、换能器和焊接层，换能器通过焊接层与声光介质键合连接，焊接层为五层，从声光介质到换能器依次为打底层Ⅰ、过渡层Ⅰ、键合层、过渡层Ⅱ和打底层Ⅱ；在换能器上镀制表电极；所述打底层Ⅰ和打底层Ⅱ均为钛薄膜层；所述过渡层Ⅰ和过渡层Ⅱ均为铜薄膜层；所述键合层为锡银铟合金层。制作时，在换能器和声光介质的两侧分别设有一个蒸发源，同时对换能器和声光介质蒸发键合层材料，以获得大面积的厚度均匀的键合层薄膜，键合层薄膜同时覆盖在换能器和声光介质的铜薄膜层之上。本发明解决了声光可调滤光器存在的光孔径难以做大，以及焊接质量不够好不能承受较大驱动电功率等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 孔径 声光 可调 滤光 | ||
【主权项】：
1.大孔径声光可调滤光器，包括声光介质、换能器和焊接层，换能器通过焊接层与声光介质键合连接，焊接层为五层，从声光介质到换能器依次为打底层Ⅰ、过渡层Ⅰ、键合层、过渡层Ⅱ和打底层Ⅱ；在换能器上镀制表电极；其特征在于：所述打底层Ⅰ和打底层Ⅱ均为钛薄膜层；所述过渡层Ⅰ和过渡层Ⅱ均为铜薄膜层；所述键合层为锡银铟合金层。
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