[发明专利]适用于脉冲激光镀膜的光路装置及其脉冲激光镀膜装置有效
| 申请号： | 201711447344.7 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108277457B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 朱佳敏;张智巍;何虎;刘士伟;陈思侃;姚林朋;赵跃 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/28;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了适用于脉冲激光镀膜的光路装置及其脉冲激光镀膜装置，包括光路系统(2)；光路系统(2)产生的脉冲激光光束(21)在靶材(341)表面的局部区域形成一组扫描聚焦光斑组(25)。扫描聚焦光斑组(25)在靶材(341)表面上的扫描路径包括直线段路径(411)、弧线段路径(412)；直线段路径(411)、弧线段路径(412)依次交替连接。本发明能够令激光束均匀地扫描靶材，从而提高靶材表面的平整度，提供镀膜产品的质量，且延长靶材的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 脉冲 激光 镀膜 装置 及其 | ||
【主权项】：
1.一种适用于脉冲激光镀膜的光路装置，其特征在于，包括光路系统(2)；光路系统(2)产生的脉冲激光光束(21)在靶材(341)表面的局部区域形成一组扫描聚焦光斑组(25)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海超导科技股份有限公司，未经上海超导科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711447344.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
