[发明专利]一种测量点的配置选择方法及装置有效
| 申请号： | 201711439063.7 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109976099B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 张臻贤;王珺 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提出一种测量点的配置选择方法及装置，所述方法包括以下步骤：确定多个曝光单元中测量点的数量和分布位置；根据所述测量点的分布位置将所述测量点划分为多种测量点群组；以及为所述曝光单元分配一种测量点群组，并根据所述测量点群组为每个曝光单元设置对应的测量点，其中，相邻位置的两个所述曝光单元的测量点位置不相邻。通过群组划分的方式，对曝光单元分配不同的测量点群组，相邻两个曝光单元中间不存在紧挨的测量点，从而实现整个晶圆上的测量点分布更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 配置 选择 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量点的配置选择方法，其特征在于，包括以下步骤：确定多个曝光单元中测量点的数量和分布位置；根据所述测量点的分布位置将所述测量点划分为多种测量点群组；以及为每一所述曝光单元分配多种测量点群组的其中一种，并根据所述测量点群组为每个曝光单元设置对应的测量点，其中，相邻位置的两个所述曝光单元的最接近测量点位置不相邻靠。
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