[发明专利]一种激光发生器反射板

摘要

本发明公开了一种激光发生器反射板，激光发生器反射板由基底、纯铬层、纯铝层和作为反射层的三氧化二铝薄膜组成四层结构，基底使用铜材料，拥有高导热率，在铜基体上利用物理气相沉积在惰性气体保护气氛下沉积一层纳米厚度的纯铬薄膜，以增加反射层与铜基底的界面结合强度，再在纯铬薄膜上用物理气相沉积法沉积一层微米厚度的纯铝薄膜，最后通过反应蒸镀法、多弧离子束氧化或阳极氧化等方法在纯铝薄膜表面制备用于反射激光的三氧化二铝薄膜。本发明激光发生器反射板热稳定性强、光学性能优异，激光反射率能够达80～95％；其最薄弱界面结合力高于500MPa，使用寿命达到2～4年。

主权项

1.一种激光发生器反射板，其特征在于：由基底、纯铬层、纯铝层和作为反射层的三氧化二铝薄膜组成四层结构，所述基底为具有高导热性的铜基体，通过沉积法依次在铜基体上表面形成纯铬层，在纯铬层上形成纯铝层，在纯铝层上沉积或生长作为反射层的α晶型三氧化二铝薄膜，所述铜基体为纯铜基体或铜合金基体。