[发明专利]一种受保护的静电吸盘及其应用

摘要

本发明公开了一种受保护的静电吸盘及其应用，该静电吸盘包含：静电夹盘，其包含：自下而上依次设置的基层、中间粘合层和陶瓷层；以及环状保护板，其用于密封中间粘合层，包含：环状工程塑料层和环状橡胶层，该环状工程塑料层和环状橡胶层粘结在一起。环状保护板围置并覆盖在中间粘合层的外侧面的裸露部分上。本发明的受保护的静电吸盘的环状保护板，通过对其环状橡胶层和环状塑料层的热膨胀系数的设计，使其不会有受热热膨胀过大从ESC配合处有间隙或脱落的问题，而且能够使静电吸盘耐腐蚀，使用该静电吸盘在真空处理室中进行晶圆刻蚀过程中，能够避免气体对静电吸盘的腐蚀，环状保护板不易脱落或出现缝隙，其使用寿命提高。

主权项

1.一种受保护的静电吸盘，其特征在于，该静电吸盘(1)包含：静电夹盘，其包含：自下而上依次设置的基层(10)、中间粘合层(20)和陶瓷层(30)；以及环状保护板(40)，其用于密封中间粘合层(20)，包含：环状工程塑料层(40a)和环状橡胶层(40b)，其中环状工程塑料层(40a)环绕所述环状橡胶层(40b)，该环状工程塑料层(40a)和环状橡胶层(40b)粘结在一起；所述的环状保护板(40)围置并覆盖在所述的中间粘合层(20)的外侧面的裸露部分上。