[发明专利]用XRF分析层状样品有效
| 申请号： | 201711396608.0 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108226201B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 阿曼德·约恩克;贾斯蒂娜·维德梅尔 | 申请（专利权）人： | 马尔文帕纳科公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 艾娟;郑霞 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用XRF分析层状样品。描述了进行层状样品的X射线荧光XRF测量的方法。进行至少两次测量，一次穿过样品的一个表面，而另一次穿过相对的表面。这可以通过在两次测量之间将样品倒置来方便地进行。可以使用来自另外的测量的数据来计算样品的多个参数，例如每个层的浓度、密度或厚度。 | ||
| 搜索关键词： | xrf 分析 层状 样品 | ||
【主权项】：
1.一种进行层状样品的X射线荧光XRF测量的方法，所述层状样品包括第一主要表面、第二主要表面以及在所述第一主要表面和所述第二主要表面之间的至少两个层，所述方法包括：进行穿过所述第一主要表面的第一X射线测量，以获得对应于第一元素的第一XRF线的第一X射线强度值(I1)；进行穿过所述第二主要表面的第二X射线测量，以获得对应于所述第一元素的所述第一XRF线的第二X射线强度值(I2)；以及由所述第一X射线强度值(I1)和所述第二X射线强度值(I2)计算选自层参数的至少两个分析参数，所述层参数包括：所述第一层中的第一元素的浓度(C1)；所述第二层中的所述第一元素的浓度(C2)；所述第一层的密度(d1)；所述第二层的密度(d2)；所述第一层的厚度(t1)；以及所述第二层的厚度(t2)。
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