[发明专利]用于离子束产生的源组装件有效
| 申请号： | 201711392093.7 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN108376636B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | L.范考文;G.N.A.范维恩 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/21 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种用于产生离子束并且包括碰撞离子化离子源的源组装件，该碰撞离子化离子源具有：‑一对堆叠板，其夹在介于中间的缝隙周围；‑在所述板之间的、连接到气体供应导管的离子化空间；‑输入区，其被提供在所述板中的第一个中，以容许带电粒子的输入射束进入到所述离子化空间；‑输出孔，位于所述输入区的对面并且提供在所述板中的第二个中，以允许发射由所述输入射束在所述离子化空间中产生的离子流，该源组装件包括：‑载体，其被提供有多个不同的碰撞离子化离子源，所述多个不同的碰撞离子化离子源关于所述板之间的缝隙高度 |
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| 搜索关键词： | 用于 离子束 产生 组装 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生离子束并且包括碰撞离子化离子源的源组装件，该碰撞离子化离子源具有：‑一对堆叠板，其夹在介于中间的缝隙周围；‑在所述板之间的、连接到气体供应导管的离子化空间；‑输入区，其被提供在所述板中的第一个中，以容许带电粒子的输入射束进入到所述离子化空间；‑输出孔，位于所述输入区的对面并且提供在所述板中的第二个中，以允许发射由所述输入射束在所述离子化空间中产生的离子流，其特征在于，所述源组装件包括：‑载体，其被提供有多个不同的碰撞离子化离子源，所述多个不同的碰撞离子化离子源关于所述板之间的缝隙高度d而互相不同；‑选择设备，其允许单独地选择所述离子源中的给定一个用于产生所述离子束。
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