[发明专利]聚酰亚胺前驱物及其所制得的光刻图案在审
| 申请号： | 201711386779.5 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109836578A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈锜贤;蔡秉霖;陈钰佩;陈巧珮;廖彧甫;林世昌;陈贞霓;洪宗泰;陈秋风 | 申请（专利权）人： | 台虹科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C08G73/12 | 分类号： | C08G73/12;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾高雄市前*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明有关于一种聚酰亚胺前驱物及其所制得的光刻图案。此聚酰亚胺前驱物具有如下式(I)所式的重复单元： |
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| 搜索关键词： | 式( I ) 聚酰亚胺前驱物 光刻图案 四羧酸二酐 二价基团 感光交联 四价基团 图案成形 氢原子 热交联 二胺 | ||
【主权项】：
1.一种聚酰亚胺前驱物，其特征在于，该聚酰亚胺前驱物具有如下式(I)所示的重复单元：![]()
于式(I)中，Ar代表衍生自含有四羧酸二酐的四价基团；R1代表衍生自含有二胺的二价基团；且R2分别独立地代表热交联基团、感光交联基团或氢原子。
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