[发明专利]聚酰亚胺前驱物及其所制得的光刻图案在审
| 申请号： | 201711386779.5 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN109836578A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈锜贤;蔡秉霖;陈钰佩;陈巧珮;廖彧甫;林世昌;陈贞霓;洪宗泰;陈秋风 | 申请（专利权）人： | 台虹科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C08G73/12 | 分类号： | C08G73/12;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾高雄市前*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 式( I ) 聚酰亚胺前驱物 光刻图案 四羧酸二酐 二价基团 感光交联 四价基团 图案成形 氢原子 热交联 二胺 | ||
1.一种聚酰亚胺前驱物，其特征在于，该聚酰亚胺前驱物具有如下式(I)所示的重复单元：
于式(I)中，Ar代表衍生自含有四羧酸二酐的四价基团；R1代表衍生自含有二胺的二价基团；且R2分别独立地代表热交联基团、感光交联基团或氢原子。
2.如权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，Ar分别独立地代表且Y代表单键、-O-、-CH2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-SO2-或-CO-。
3.如权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，R1分别独立地代表其中R11代表3至12的整数、其中R12代表2至68的数值，或者其中R14代表9至39的数值，且R13与R15的总和为3至6的数值。
4.如权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，R2包含且「*」代表与式(I)的氧原子键结的位置。
5.如权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，所述聚酰亚胺前驱物的重复单元的数目为2至150。
6.如权利要求1所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，所述聚酰亚胺前驱物的二分子链末端分别具有第一封端基团及第二封端基团，所述第一封端基团是与式(I)的R1键结，且所述第二封端基团是与式(I)的氮原子键结。
7.如权利要求6所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，所述第一封端基团及所述第二封端基团分别为热交联基团。
8.如权利要求6所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，所述第一封端基团具有-X的结构；所述第二封端基团具有-R1-X的结构；X分别独立地代表Ar代表衍生自含有四羧酸二酐的四价基团，R2分别独立地代表热交联基团、感光交联基团或氢原子，且「*」代表键结位置。
9.如权利要求8所述的聚酰亚胺前驱物，其特征在于，Ar分别独立地代表且Y代表单键、-O-、-CH2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-SO2-或-CO-；R2包含且「*」代表与氧原子键结的位置。
10.一种光刻图案，其特征在于，所述光刻图案是藉由对权利要求1至9中的任一项所述的聚酰亚胺前驱物进行光刻制程所制得。
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