[发明专利]光阻过滤器在审
| 申请号： | 201711385436.7 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108176108A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 许峯嘉;王铮 | 申请（专利权）人： | 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/33 | 分类号： | B01D29/33;B01D29/58;B01D35/30 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。所述光阻过滤器结构精简且过滤性能佳。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤桶 光阻过滤器 容纳槽 槽体 槽盖 过滤通孔 容腔 过滤性能 连接设置 容置 连通 密封 | ||
【主权项】：
1.一种光阻过滤器，其特征在于，包括：槽体，所述槽体具有容纳槽；槽盖，所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置；及过滤桶，所述过滤桶容置在所述容纳槽内；所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；所述过滤桶具有容腔；所述过滤桶设置有多个过滤通孔；所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。
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