[发明专利]光阻过滤器在审
| 申请号： | 201711385436.7 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108176108A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 许峯嘉;王铮 | 申请（专利权）人： | 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/33 | 分类号： | B01D29/33;B01D29/58;B01D35/30 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201616 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 过滤桶 光阻过滤器 容纳槽 槽体 槽盖 过滤通孔 容腔 过滤性能 连接设置 容置 连通 密封 | ||
1.一种光阻过滤器，其特征在于，包括：
槽体，所述槽体具有容纳槽；
槽盖，所述槽盖设置在所述槽体的顶端，并密封所述容纳槽地设置；及
过滤桶，所述过滤桶容置在所述容纳槽内；所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；
所述过滤桶具有容腔；所述过滤桶设置有多个过滤通孔；所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽地设置。
2.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于，还包括：
第二过滤桶，所述第二过滤桶设置在所述过滤桶的容腔内；所述第二过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置；
所述第二过滤桶具有第二容腔；所述过滤桶设置有多个第二过滤通孔；
所述第二过滤通孔连通所述第二容腔与所述容腔地设置。
3.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述第二过滤通孔的密度大于所述过滤通孔的密度。
4.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述第二过滤桶的顶端可拆卸地设置在槽盖的底端。
5.根据权利要求2所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述槽体的侧壁上设置有注液通孔；所述注液通孔与所述容纳槽连通，以可导入参杂有光阻的处理液；
所述槽盖设置有出液通孔；所述出液通孔与所述第二容腔连通，以可导出滤除了光阻的处理液。
6.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述槽体的底壁上设置有排放通孔；所述排放通孔与所述容纳槽连通，以可排出光阻。
7.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述槽盖设置有减压部，以可减轻所述容纳槽内的气体压强。
8.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于，还包括：
液位传感器，所述液位传感器容置在所述容纳槽内，以可感测所述容纳槽内的处理液高度。
9.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于：
所述过滤桶的顶端可拆卸地设置在所述槽盖的底端。
10.根据权利要求1所述的光阻过滤器，其特征在于，还包括：
过滤器花篮，所述过滤器花篮具有容置腔；
所述过滤器花篮设置在所述容纳槽内；
所述过滤桶设置在所述过滤器花篮的容置腔内。
11.根据权利要求10所述的光阻过滤器，其特征在于：
在沿所述槽体的径向上，所述过滤器花篮与所述槽体之间的间距小于该过滤器花篮与所述过滤桶之间的间距。
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