[发明专利]氦气回收装置

摘要

本发明提供了一种氦气回收装置，其包括回收系统、压缩系统、过滤系统、存储系统、检测系统、补氦系统以及输出系统。回收系统包括第一控制阀、真空罐、真空泵、储气袋及感应器，第一控制阀与外部的氦气检测机构相连，真空罐与第一控制阀相连，真空泵连接于真空罐和储气袋之间，感应器能够检测储气袋内的氦气量。压缩系统连通于储气袋并受到感应器的控制，过滤系统连接于压缩系统和存储系统之间。输出系统包括输出阀门及连接于输出阀门的输出管路，输出管路用于连接到氦气检测机构，存储系统与输出阀门相连。检测系统与存储系统相连并用于检测存储系统内的氦气浓度。补氦系统包括第一储气罐以及第二控制阀，第一储气罐经由第二控制阀与储气袋连通。

主权项

1.一种氦气回收装置，其特征在于，包括回收系统(1)、压缩系统(2)、过滤系统(3)、存储系统(4)、检测系统(5)、补氦系统(6)以及输出系统(7)；回收系统(1)包括第一控制阀(11)、真空罐(12)、真空泵(13)、储气袋(14)以及感应器(15)，第一控制阀(11)用于与外部的氦气检测机构(A)相连，真空罐(12)与第一控制阀(11)相连，真空泵(13)连接于真空罐(12)和储气袋(14)之间并能够将真空罐(12)内的氦气输送到储气袋(14)，感应器(15)设置于储气袋(14)并能够检测储气袋(14)内的氦气量；压缩系统(2)连通于储气袋(14)并受到感应器(15)的控制，过滤系统(3)连接于压缩系统(2)和存储系统(4)之间，压缩系统(2)在接收到感应器(15)的信号后压缩储气袋(14)内的氦气，压缩后的氦气经过过滤系统(3)后储存到存储系统(4)；输出系统(7)包括输出阀门(71)以及连接于输出阀门(71)的输出管路(72)，输出管路(72)用于连接到氦气检测机构(A)，存储系统(4)与输出阀门(71)相连；检测系统(5)与存储系统(4)相连并用于检测存储系统(4)内的氦气浓度，且当氦气浓度达到设定值时，输出阀门(71)接通并将氦气输送到氦气检测机构(A)；补氦系统(6)包括第一储气罐(61)以及第二控制阀(62)，第一储气罐(61)内部存储有高浓度氦气并经由第二控制阀(62)与储气袋(14)连通。