[发明专利]氦气回收装置

权利要求书

1.一种氦气回收装置，其特征在于，包括回收系统(1)、压缩系统(2)、过滤系统(3)、存储系统(4)、检测系统(5)、补氦系统(6)以及输出系统(7)；

回收系统(1)包括第一控制阀(11)、真空罐(12)、真空泵(13)、储气袋(14)以及感应器(15)，第一控制阀(11)用于与外部的氦气检测机构(A)相连，真空罐(12)与第一控制阀(11)相连，真空泵(13)连接于真空罐(12)和储气袋(14)之间并能够将真空罐(12)内的氦气输送到储气袋(14)，感应器(15)设置于储气袋(14)并能够检测储气袋(14)内的氦气量；回收系统(1)还包括真空计以检测真空罐(12)的真空度；当真空罐(12)的真空度低于设定值时，真空泵(13)工作并对真空罐(12)抽真空，以使真空罐(12)的真空度达到设定值；

压缩系统(2)连通于储气袋(14)并受到感应器(15)的控制，过滤系统(3)连接于压缩系统(2)和存储系统(4)之间，压缩系统(2)在接收到感应器(15)的信号后压缩储气袋(14)内的氦气，压缩后的氦气经过过滤系统(3)后储存到存储系统(4)；

输出系统(7)包括输出阀门(71)以及连接于输出阀门(71)的输出管路(72)，输出管路(72)用于连接到氦气检测机构(A)，存储系统(4)与输出阀门(71)相连；

检测系统(5)与存储系统(4)相连并用于检测存储系统(4)内的氦气浓度，且当氦气浓度达到设定值时，输出阀门(71)接通并将氦气输送到氦气检测机构(A)；

补氦系统(6)包括第一储气罐(61)以及第二控制阀(62)，第一储气罐(61)内部存储有高浓度氦气并经由第二控制阀(62)与储气袋(14)连通。

2.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，第一储气罐(61)还连通于输出阀门(71)。

3.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，回收系统(1)还包括减压阀(16)，连接于储气袋(14)和第一控制阀(11)之间。

4.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，

回收系统(1)还包括第一单向阀(17)，且真空泵(13)经由第一单向阀(17)与储气袋(14)连通；

补氦系统(6)还包括第二单向阀(63)，且第二控制阀(62)经由第二单向阀(63)与储气袋(14)连通。

5.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，压缩系统(2)包括压缩机(21)、收集器(22)以及第三控制阀(23)，压缩机(21)压缩氦气并将氦气输送到过滤系统(3)，压缩机(21)在压缩过程中产生的液体经由第三控制阀(23)进入收集器(22)。

6.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，过滤系统(3)包括碳过滤器(31)、油雾过滤器(32)和颗粒过滤器(33)。

7.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，存储系统(4)包括第二储气罐(41)以及设置于第二储气罐(41)的第四控制阀(42)，且第二储气罐(41)通过第四控制阀(42)与输出阀门(71)和过滤系统(3)相连。

8.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，检测系统(5)包括氦气浓度检测仪(51)以及第五控制阀(52)，且氦气浓度检测仪(51)经由第五控制阀(52)与存储系统(4)连通。

9.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，检测系统(5)包括第六控制阀(53)和第七控制阀(54)，且真空罐(12)经由第六控制阀(53)与氦气浓度检测仪(51)连通，储气袋(14)经由第七控制阀(54)与氦气浓度检测仪(51)连通。

10.根据权利要求1所述的氦气回收装置，其特征在于，补氦系统(6)还包括第八控制阀(64)，且第一储气罐(61)经由第八控制阀(64)与过滤系统(3)连通。