[发明专利]一种基于MEMS机制的可调滤波器

摘要

本发明涉及是一种基于MEMS机制的可调滤波器，包括底座，底座上方装有MEMS芯片，位于MEMS芯片外围还装有至少两块相同厚度的零膨胀玻璃，零膨胀玻璃上方装有部分反射镜A，MEMS芯片包括中间开孔的芯片衬底，芯片衬底上制作有上电电极，芯片衬底上方设有悬臂梁结构，悬臂梁可以通过电压或者电流驱动实现上下伸缩运动，悬臂梁的顶部固定装有镜托，镜托上方装有部分反射镜B，部分反射镜B的重量小于悬臂梁的驱动力，部分反射镜B与部分反射镜A平行，部分反射镜A上表面镀有增透膜、下表面镀有部分反射膜，部分反射镜B上表面镀有部分反射膜、下表面镀有增透膜，底座上还装有热敏电阻；本发明调谐更加精准，响应速度更快。

主权项

一种基于MEMS机制的可调滤波器，包括底座，底座上方固定装有MEMS芯片，其特征是：所述底座上方位于MEMS芯片外围还固定装有至少两块相同厚度的零膨胀玻璃，零膨胀玻璃上方固定装有一个部分反射镜A，所述MEMS芯片包括中间开孔的芯片衬底，芯片衬底上制作有上电电极，芯片衬底上方设有悬臂梁结构，悬臂梁可以通过电压或者电流进行驱动实现上下伸缩运动，悬臂梁的顶部固定装有一个位于芯片衬底开孔正上方的镜托，镜托上方固定装有一个部分反射镜B，部分反射镜B的重量小于悬臂梁的驱动力，所述部分反射镜B与部分反射镜A平行，部分反射镜A上表面镀有增透膜、下表面镀有部分反射膜，部分反射镜B上表面镀有部分反射膜、下表面镀有增透膜，底座上还装有热敏电阻，所述MEMS芯片上还集成有温度传感器，热敏电阻和MEMS芯片分别通过底座与主控板连接。