[发明专利]一种基于柔性薄膜的MEMS执行器及其制作方法在审
| 申请号： | 201711383154.3 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN107934906A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 黄继宝;钱金贵;冮建华;黄波 | 申请（专利权）人： | 爱科赛智能科技（台州）有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 杭州新源专利事务所(普通合伙)33234 | 代理人： | 余冬 |
| 地址： | 317527 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，构成包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。本发明具有优异的柔韧性和高断裂强度，大大增加了设备的稳定性和效能以及使用寿命。本发明还采用磁性复合材料来替代永磁铁的使用，可以同时保证薄膜的柔性和磁力的强度，提高了实用性和便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 柔性 薄膜 mems 执行 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于柔性薄膜的MEMS执行器，其特征在于：包括透明基底(1)，透明基底(1)的中部设有铜线圈(2)，铜线圈(2)的两端分别连接有设置在透明基底上的导电片(3)，透明基底(1)的两侧经间隔层(4)设有硅衬底(7)，硅衬底(7)上设有一层柔性薄膜(5)，柔性薄膜(5)的内表面上设有一层磁性复合层(6)，磁性复合层(6)位于铜线圈(2)的上方。
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