[发明专利]测量低能量范围金属材料二次电子发射系数的装置及方法有效
申请号: | 201711374694.5 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN108387597B | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 王新波;苗光辉;张恒;崔万照;谢桂柏;杨晶;李韵;王瑞;张娜;孙勤奋 | 申请(专利权)人: | 西安空间无线电技术研究所 |
主分类号: | G01N23/2208 | 分类号: | G01N23/2208 |
代理公司: | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人: | 庞静 |
地址: | 710100*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种测量低能量范围金属材料二次电子发射系数的装置及方法,其中装置包括收集极、两只电流表和电子枪;收集极为两层且开口朝下的结构,结构顶部开有预留孔;样品的上表面置于收集极内部且位于预留孔的正下方,电子枪通过预留孔将入射电子打到样品上;一只电流表记为电流表A连接在样品与地之间;另一只电流表记为电流表B连接在收集极内表面与地之间,收集极的外表面接地。 | ||
搜索关键词: | 测量 能量 范围 金属材料 二次电子 发射 系数 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种测量低能量范围金属材料二次电子发射系数的装置,其特征在于:包括收集极、两只电流表和电子枪;收集极为两层且开口朝下的结构,结构顶部开有预留孔;样品的上表面置于收集极内部且位于预留孔的正下方,电子枪通过预留孔将入射电子打到样品上;一只电流表记为电流表A连接在样品与地之间;另一只电流表记为电流表B连接在收集极内表面与地之间,收集极的外表面接地。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安空间无线电技术研究所,未经西安空间无线电技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711374694.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种单晶衍射仪
- 下一篇:减小菲涅尔衍射条纹的洛伦兹透射电镜样品的制备方法