[发明专利]测量低能量范围金属材料二次电子发射系数的装置及方法有效

专利信息
申请号: 201711374694.5 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN108387597B 公开(公告)日: 2021-02-05
发明(设计)人: 王新波;苗光辉;张恒;崔万照;谢桂柏;杨晶;李韵;王瑞;张娜;孙勤奋 申请(专利权)人: 西安空间无线电技术研究所
主分类号: G01N23/2208 分类号: G01N23/2208
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 庞静
地址: 710100*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种测量低能量范围金属材料二次电子发射系数的装置及方法,其中装置包括收集极、两只电流表和电子枪;收集极为两层且开口朝下的结构,结构顶部开有预留孔;样品的上表面置于收集极内部且位于预留孔的正下方,电子枪通过预留孔将入射电子打到样品上;一只电流表记为电流表A连接在样品与地之间;另一只电流表记为电流表B连接在收集极内表面与地之间,收集极的外表面接地。
搜索关键词: 测量 能量 范围 金属材料 二次电子 发射 系数 装置 方法
【主权项】:
1.一种测量低能量范围金属材料二次电子发射系数的装置,其特征在于:包括收集极、两只电流表和电子枪;收集极为两层且开口朝下的结构,结构顶部开有预留孔;样品的上表面置于收集极内部且位于预留孔的正下方,电子枪通过预留孔将入射电子打到样品上;一只电流表记为电流表A连接在样品与地之间;另一只电流表记为电流表B连接在收集极内表面与地之间,收集极的外表面接地。
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