[发明专利]超导单晶薄膜的制造方法在审
| 申请号： | 201711373104.7 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108301040A | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 董晓莉;赵忠贤;袁洁;金魁;周放;黄裕龙;冯中沛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C30B19/12 | 分类号： | C30B19/12;C30B29/46;H01B12/06 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种超导单晶薄膜的制造方法，包括：在反应槽中的反应溶液中放入初始叠层结构，所述初始叠层结构包括至少一个衬底和附着于其上的籽晶层；将所述反应溶液调节至预定温度且保温预定时间，形成产物叠层结构，所述产物叠层结构包括所述至少一个衬底、所述籽晶层、以及至少一个超导单晶薄膜；从所述反应溶液中取出所述产物叠层结构，并且进行冲洗和干燥；以及将所述至少一个超导单晶薄膜与所述至少一个衬底和所述籽晶层分离，其中，所述反应溶液包括溶剂和无机前驱体，所述无机前驱体提供所述超导单晶薄膜成分的活性离子。该方法采用无机前驱体提供活性离子以及采用籽晶层作为生长模板，可以形成大尺寸高质量的超导单晶薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 超导单晶 叠层结构 薄膜 反应溶液 籽晶层 无机前驱体 衬底 活性离子 反应槽 溶剂 附着 保温 冲洗 制造 取出 生长 申请 | ||
【主权项】：
1.一种超导单晶薄膜的制造方法，包括：在反应槽中的反应溶液中放入初始叠层结构，所述初始叠层结构包括至少一个衬底和附着于其上的籽晶层；将所述反应溶液调节至预定温度且保温预定时间，形成产物叠层结构，所述产物叠层结构包括所述至少一个衬底、所述籽晶层、以及至少一个超导单晶薄膜；从所述反应溶液中取出所述产物叠层结构，并且进行冲洗和干燥；以及将所述至少一个超导单晶薄膜与所述至少一个衬底和所述籽晶层分离，其中，所述反应溶液包括溶剂和无机前驱体，所述无机前驱体提供所述超导单晶薄膜成分的活性离子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711373104.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
