[发明专利]一种等离子物理气相沉积用多工位回转工装装置

摘要

一种等离子物理气相沉积用多工位回转工装装置涉及等离子喷涂领域，该多工位回转工装装置由公转系统、自转系统、控制系统、支撑机架四部分组成；其中公转系统由电主轴机构、旋转架机构、公转齿轮机构三部分组成；自转系统由万向节机构、自转轴机构两部分组成。该装置可实现单轴输入多轴输出，具有公转和自转的功能,可满足多个回转体零件回转面涂层制备的使用需求；采用该带角度工装装置后，工件喷涂厚度获得大幅度改善，解决了具有遮蔽严重区域或弯扭较大区域工件的涂层均匀过渡；该装置工位设置合理恰当，机构运行稳定可靠，能严格控制产品涂层的厚度均匀性与一致性，特别适用于燃气涡轮发动机涡轮叶片表面涂层的制备；提高生产效率与产能。

主权项

1.一种等离子物理气相沉积领域多工位回转工装装置，其特征在于，包括公转系统、自转系统、控制系统和支撑机架，其中公转系统由电主轴机构、旋转架机构、公转齿轮机构三部分组成；自转系统由万向节机构、自转轴机构两部分组成；电主轴机构由电机、减速器、联轴器、主传动轴、主传动轴承套以及主传动轴承组成；主转动轴输出端为圆盘形状，在中心圆周方向上开设螺纹孔；旋转架机构由旋转盘、连接杆、公转小齿轮托架组成；旋转盘为凹型回转体；在旋转盘底部设有定位台，并且与主传动轴输出端对应处存在相应大小的通孔；旋转盘凹面角度为120度，在凹面上均布有六个圆形安装面，并且每个圆形安装面中心方向上均布有四个螺纹孔，中心为通孔；在旋转盘外沿方向上均布六组通孔，每组在相应圆周方向上设有四个大小相等的通孔；连接杆为圆柱体结构，在上、下表面圆周方向上开设螺纹孔；公转齿轮机构由公转大齿轮盘和公转小齿轮传动机构组成；公转小齿轮传动机构又包括公转小齿轮轴承套、公转小齿轮轴承、公转小齿轮轴承端盖、公转小齿轮轴；公转大齿轮盘在圆周方向上开设两排通孔；自转轴机构由自转轴传动机构以及夹持机构组成，自转轴传动机构又包括自转轴轴承、自转轴轴承套、自转轴轴承端盖、自转轴；通过万向节机构将公转小齿轮轴与自转轴相连接，并且自转轴传动机构通过自转轴轴承套安装在旋转盘凹面的圆形安装面上；夹持机构通过键与自转轴相连接。