[发明专利]一种等离子物理气相沉积用多工位回转工装装置

权利要求书

1.一种等离子物理气相沉积领域多工位回转工装装置，其特征在于，包括公转系统、自转系统、控制系统和支撑机架，其中公转系统由电主轴机构、旋转架机构、公转齿轮机构三部分组成；自转系统由万向节机构、自转轴机构两部分组成；

电主轴机构由电机、减速器、联轴器、主传动轴、主传动轴承套以及主传动轴承组成；主转动轴输出端为圆盘形状，在中心圆周方向上开设螺纹孔；

旋转架机构由旋转盘、连接杆、公转小齿轮托架组成；旋转盘为凹型回转体；在旋转盘底部设有定位台，并且与主传动轴输出端对应处存在相应大小的通孔；旋转盘凹面角度为120度，在凹面上均布有六个圆形安装面，并且每个圆形安装面中心方向上均布有四个螺纹孔，中心为通孔；在旋转盘外沿方向上均布六组通孔，每组在相应圆周方向上设有四个大小相等的通孔；连接杆为圆柱体结构，在上、下表面圆周方向上开设螺纹孔；公转齿轮机构由公转大齿轮盘和公转小齿轮传动机构组成；公转小齿轮传动机构又包括公转小齿轮轴承套、公转小齿轮轴承、公转小齿轮轴承端盖、公转小齿轮轴；公转大齿轮盘在圆周方向上开设两排通孔；

自转轴机构由自转轴传动机构以及夹持机构组成，自转轴传动机构又包括自转轴轴承、自转轴轴承套、自转轴轴承端盖、自转轴；通过万向节机构将公转小齿轮轴与自转轴相连接，并且自转轴传动机构通过自转轴轴承套安装在旋转盘凹面的圆形安装面上；夹持机构通过键与自转轴相连接。

2.根据权利要求1所述多工位回转工装装置，其特征在于，控制系统，控制电动机转速，通过电动机本身所带有编码器进行反馈监测，实现电机转速调节全闭环控制，也实现无级变速。

3.根据权利要求1所述多工位回转工装装置，其特征在于，支撑机架，机架为圆盘结构，中间设有主传动轴承安装套，在机架开设两排螺纹孔。

4.根据权利要求1所述多工位回转工装装置，其特征在于，本多工位回转工装装置采用单轴输入多轴输出，实现多个工件公转与自转同时旋转，且保证各个工件旋转速度均匀、可调。

5.根据权利要求1所述多工位回转工装装置，其特征在于，采用隔板设计，将每个工位相隔开，实现各个工位工作互不干涉，达到屏蔽保护作用。

6.根据权利要求1所述多工位回转工装装置，其特征在于，此装置采用可拆卸水隔套与电机散热装置进行热防护，对外部裸露部分加装了防护措施。