[发明专利]一种镜片镀膜方法

摘要

本发明公开一种镜片镀膜方法，其包括以下步骤：步骤1：清洗镜片基体表面并固定在真空腔室内；步骤2：对真空腔室抽真空；步骤3：加硬膜层：步骤4：将加硬处理后的镜片进行退火处理，步骤5：将退火处理后的镜片基片进行离子轰击清洗步骤6：制备变色材料薄膜层，步骤7：制备金属氧化物膜层，步骤8：制备氟化物膜层，步骤9：解除真空取出镜片。本发明的优点在于蒸发材料不受限制，蒸发速率高，而且蒸发速率和电子束聚集调节方便，并且在蒸发材料局部熔化时，蒸发材料不与真空腔室发生方应，保证膜料纯度较高。

主权项

1.一种镜片镀膜方法，其特征在于：其包括以下步骤：步骤1：清洗镜片基体表面并固定在真空腔室内；步骤2：对真空腔室抽真空；使得真空度不高于3×10-7 Pa，步骤3：加硬膜层：将镜片基片浸入甲基硅树脂强化溶液中，保持真空腔室内加硬处理温度为115-125℃，2小时后将镜片基片取出并送至烘干箱内干燥固化，烘干温度120℃，固化时间60分钟 ；步骤4：退火处理：将加硬处理后的镜片进行退火处理：步骤5：二次清洗：将退火处理后的镜片基片置于真空镀膜舱内，用霍尔离子源对镜片基片进行离子轰击3-5分钟；步骤6：变色材料薄膜层的制备，保持真空腔室的真空度达到2×10-7Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为2.5Å/S；调节束流，在加硬膜层的表面上蒸镀一层变色材料薄膜，关闭电子束枪；步骤7：金属氧化物膜层的制备：保持真空腔室的真空度达到2×10-7 Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为2.5Å/S；调节束流，在减反射膜层的表面上蒸镀金属氧化物膜层，关闭电子束枪；步骤8：氟化物膜层的制备：保持真空腔室的真空度达到3×10-7 Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为7.0Å/S；调节束流，在金属氧化物膜层的表面上蒸镀氟化物膜层，关闭电子束枪；步骤9：解除真空：关闭分子泵，开启进气阀，通入空气，取出镜片。