[发明专利]一种镜片镀膜方法

说明书

本发明公开一种镜片镀膜方法，其包括以下步骤：步骤1：清洗镜片基体表面并固定在真空腔室内；步骤2：对真空腔室抽真空；步骤3：加硬膜层：步骤4：将加硬处理后的镜片进行退火处理，步骤5：将退火处理后的镜片基片进行离子轰击清洗步骤6：制备变色材料薄膜层，步骤7：制备金属氧化物膜层，步骤8：制备氟化物膜层，步骤9：解除真空取出镜片。本发明的优点在于蒸发材料不受限制，蒸发速率高，而且蒸发速率和电子束聚集调节方便，并且在蒸发材料局部熔化时，蒸发材料不与真空腔室发生方应，保证膜料纯度较高。

技术领域

本发明涉及镜片技术领域，尤其涉及一种镜片镀膜方法。

背景技术

随着光学产品的发展，光学镜片的应用范围越来越广。在镜片表面镀制光学薄膜系光学薄膜技术应用范围之一，镜片经过不同的镀膜处理后，可以形成减少反射光、截止紫外线、阻挡红外线、防水、防雾、防雾、防腐蚀、耐摩擦及彩色装饰、光致变色等多种效果，为人们的工作和生活带来新的价值，这种眼镜片也叫加膜镜片或镀膜眼镜片。近年来，随着人们消费水平的不断提高，各种镀膜眼镜片愈来愈受消费者的青睐，市场行情日益走俏。

镀膜工序为后续处理中的重要步骤之一，镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀上单层或多层薄膜，利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直、滤光、反射及折射等效果。现有的镜片基本采用塑料或者树脂镜片进行镀膜，制成的镜片容易磨损，且镀膜完成后镜片的透射率可以达到90%左右，但是很难达到98%以上，清晰度不高。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种镜片镀膜方法。

本发明采用的技术方案是：

一种镜片镀膜方法，其包括以下步骤：

步骤1：清洗镜片基体表面并固定在真空腔室内；

步骤2：对真空腔室抽真空；使得真空度不高于3×10-7 Pa，

步骤3：加硬膜层：将镜片基片浸入甲基硅树脂强化溶液中，保持真空腔室内加硬处理温度为115-125℃，2小时后将镜片基片取出并送至烘干箱内干燥固化，烘干温度120℃，固化时间60分钟 ，

步骤4：退火处理：将加硬处理后的镜片进行退火处理：

步骤5：二次清洗：将退火处理后的镜片基片置于真空镀膜舱内，用霍尔离子源对镜片基片进行离子轰击3-5分钟，

步骤6：变色材料薄膜层的制备，保持真空腔室的真空度达到2×10-7Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为2.5Å/S；调节束流，在加硬膜层的表面上蒸镀一层变色材料薄膜，关闭电子束枪；

步骤7：金属氧化物膜层的制备：保持真空腔室的真空度达到2×10-7 Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为2.5Å/S；调节束流，在减反射膜层的表面上蒸镀金属氧化物膜层，关闭电子束枪；

步骤8：氟化物膜层的制备：保持真空腔室的真空度达到3×10-7 Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为7.0Å/S；调节束流，在金属氧化物膜层的表面上蒸镀氟化物膜层，关闭电子束枪；

步骤9：解除真空：关闭分子泵，开启进气阀，通入空气，取出镜片。

进一步地，步骤1中采用酒精溶剂或超声波清洗镜片表面。

进一步地，步骤1具体包括以下步骤：