[发明专利]大尺寸多块钕玻璃元件侧面加工装置检测装置和加工方法

摘要

一种大尺寸多块钕玻璃元件侧面加工装置、检测装置和加工方法，装置包括工装夹具、标准单轴抛光机和检测装置，本发明实现了多块钕玻璃元件侧面捆绑式多件一次性批量加工和整盘面形检测，加工效率高，加工成本低，可实现多块钕玻璃元件侧面的批量化加工，该发明也适用于其它径厚比较大的大口径矩形元件的侧面加工。该发明也适用于其它径厚比较大的大口径矩形元件的侧面加工，加工效率高，成本低。

主权项

1.一种利用大形方片多块钕玻璃元件侧面加工装置和检测装置进行多块钕玻璃元件侧面加工的方法，所述的加工装置包括工装夹具和标准单轴抛光机(27)，所述的工装夹具由中空的四方的框形基板(16)、支撑立柱(17)、紧固螺钉(18)、锁紧机构(19)、两对称的“]”形腔体壁构成的腔体(20)和固定底板(21)；所述的检测装置包括二维调整架(21)、横向电动导轨(22)、三角横梁(23)、竖向电动导轨(24)、竖式干涉仪(25)、捆绑后的待加工多块钕玻璃元件(26)、可调推车(28)、控制手柄(29)、计算机(30)和电气控制箱(31)，在所述的可调推车(28)的下平台上放置所述的电气控制箱(31)，中平台设置所述的计算机(30)和控制手柄(29)，上平台设置所述的二维调整架(21)；在该二维调整架(21)上固定所述的三角横梁(23)，该三角横梁(23)依靠所述的二维调整架(21)可在水平面上运动；在该三角横梁(23)的竖直的直角边上固定所述的竖向电动导轨(24)，所述的竖式干涉仪(25)呈悬臂状链接在所述的竖向电动导轨(24)上，可上下移动；所述的计算机(30)与所述的竖式干涉仪(25)通过电线相连，可对多块钕玻璃元件侧面的面形进行在线检测；所述的竖向电动导轨(24)和横向电动导轨(22)的运动状态由所述的控制手柄(29)实时控制；其特征在于该方法包括下列步骤：/n1)将所述的固定底板(21)固定在所述的标准单轴抛光机(27)上，将所述的两对称的“]”形腔体壁的一半以及一个支撑立柱(17)通过紧固螺钉固定在所述的固定底板(21)上的左侧，然后将待加工多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)和塑料隔板(14)依次相间地放入所述的腔体(20)内，所述的多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)的待加工侧面朝上，且每两片钕玻璃元件之间放置一片塑料隔板(14)；然后将“]”形腔体壁的另一半和另一支撑立柱(17)对接地安装在所述的固定底板(21)上的右侧，并通过锁紧机构(19)夹紧腔体(20)内的多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)；再将陪抛片基板(16)放置在对接好的腔体(20)上端并固定好；然后在所述的陪抛片基板(16)上涂上专用粘结剂，并将钕玻璃陪抛片(6、7、8、9、10、11、12、13)依次粘结在所述的陪抛片基板(16)上，且保持与待加工多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)的待加工侧面处在同一水平面上；/n2)将抛光盘(15)反面朝上放在捆绑夹紧的整个工装夹具的待加工面上，将标准单轴抛光机的铁笔与抛光盘连接；/n3)启动标准单轴抛光机电源，加注抛光液对所述的多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)的侧面进行一次性加工；/n4)停止运行所述的标准单轴抛光机(27)，并将抛光盘取下，用去离子水将多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)的侧面冲洗干净，驱动所述的可调推车(28)至所述的标准单轴抛光机(27)附近，调节控制手柄(29)使所述的竖式干涉仪(25)的检测孔径恰好处在所述的多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)的加工侧面的正上方；启动计算机(30)并打开面形检测软件，调节距离和高度直到所述的计算机(30)的显示屏上显示出清晰的面形干涉条纹并记录数据，完成面形检测；/n5)如果检测结果不合格，移除所述的检测装置，返回步骤2)，如果检测结果合格，则移除所述的检测装置，拆卸所述的多块钕玻璃元件(1、2、3、4、5)，加工完成。/n