[发明专利]大尺寸多块钕玻璃元件侧面加工装置检测装置和加工方法

说明书

一种大尺寸多块钕玻璃元件侧面加工装置、检测装置和加工方法，装置包括工装夹具、标准单轴抛光机和检测装置，本发明实现了多块钕玻璃元件侧面捆绑式多件一次性批量加工和整盘面形检测，加工效率高，加工成本低，可实现多块钕玻璃元件侧面的批量化加工，该发明也适用于其它径厚比较大的大口径矩形元件的侧面加工。该发明也适用于其它径厚比较大的大口径矩形元件的侧面加工，加工效率高，成本低。

技术领域

本发明涉及钕玻璃元件加工，特别是一种大尺寸多块钕玻璃元件侧面加工装置、检测装置和加工方法，实现了多块钕玻璃元件一次性加工和整盘面形检测，加工效率高，加工成本低，可实现多块多块钕玻璃元件侧面的批量化加工，该发明也适用于其它径厚比较大的大口径矩形元件的侧面加工。

背景技术

掺钕激光玻璃(简称：钕玻璃)在高功率激光装置中主要对激光能量进行放大，但是高功率激光钕玻璃的能量放大能力在很大程度上取决于对片状激光钕玻璃放大器中放大自发辐射(Amplified Spontaneous Emission，ASE)即寄生振荡的抑制程度。为了抑制片状激光钕玻璃放大器中ASE(即寄生振荡)，需要在垂直于光路方向的激光钕玻璃侧面包裹吸收ASE的介质。目前大规模的高功率激光器中普遍采用掺铜离子的包边玻璃作为ASE的吸收介质，并将掺铜的包边玻璃与大口径钕玻璃侧面紧密贴合。上述抑制ASE的方法称为钕玻璃包边。钕玻璃包边性能主要是包边亮线、牢固度和包边寿命，包边质量的好坏直接影响装置的性能。钕玻璃包边质量除了使用的胶和包边工艺之外，起决定性作用的就是包边加工的精度，其中包括了钕玻璃侧面加工和包边玻璃的加工。

发明内容

本发明的目的在于提供一种大尺寸多块钕玻璃元件侧面加工装置、检测装置和加工方法，实现了多块钕玻璃元件一次性加工和整盘面形检测，加工效率高，加工成本低，可实现多块多块钕玻璃元件侧面的批量化加工，该发明也适用于其它径厚比较大的大口径矩形元件的侧面加工，加工效率高，成本低。

克服了当前多块钕玻璃元件侧面单片加工效率低、加工过程面形变化大，不能实现批量化加工的缺陷。本发明利用特殊的工装夹具和检测装置，实现了多块钕玻璃元件捆绑式一次性加工和整盘面形在线检测，不用反复上下盘，也不用重新拼盘捆绑，加工效率高，加工成本低，可实现多块多块钕玻璃元件侧面的批量化加工。该发明也适用于它径厚比较大的大口径矩形元件的侧面加工。

本发明的技术方案如下：

一种大形方片多块钕玻璃元件侧面加工装置和检测装置，其特点在于所述的加工装置包括工装夹具和标准单轴抛光机，所述的工装夹具由中空的四方的框形基板、支撑立柱、紧固螺钉、锁紧机构、两对称的“]”形腔体壁构成的腔体和固定底板；所述的检测装置包括二维调整架、横向电动导轨、三角横梁、竖向电动导轨、竖式干涉仪、捆绑后的待加工多块钕玻璃元件、可调推车、控制手柄、计算机和电气控制箱，在所述的可调推车的下平台上放置所述的电气控制箱，中平台设置所述的计算机和控制手柄，上平台设置所述的二维调整架；在该二维调整架上固定所述的三角横梁，该三角横梁依靠所述的二维调整架可在水平面上运动；在该三角横梁的竖直的直角边上固定所述的竖向电动导轨，所述的竖式干涉仪呈悬臂状链接在所述的竖向电动导轨上，可上下移动；所述的计算机与所述的竖式干涉仪通过电线相连，可对多块钕玻璃元件侧面的面形进行在线检测；所述的竖向电动导轨和横向电动导轨的运动状态由所述的控制手柄实时控制。

所述的腔体的尺寸根据多块钕玻璃元件同时加工的数量进行调节。

所述的竖式干涉仪采用竖式结构并配有直线导轨，可沿导轨在工作台平面上前后左右运动，便于测量待测整盘多块钕玻璃元件侧面不同区域的面形数据。

所述的可调推车的高度和进给可调，便于检测；配有滚轮和锁紧块，便于运动和静止。

利用上述大形方片多块钕玻璃元件侧面加工装置和检测装置进行多块钕玻璃元件侧面加工的方法，其特点在于该方法包括下列步骤：