[发明专利]电极板及其表面处理方法在审
| 申请号： | 201711340305.7 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108103435A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 邢升阳 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C8/02;C23C16/505 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;闻盼盼 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电极板及其表面处理方法。本发明的电极板的表面处理方法首先采用特殊的退火工艺对电极板进行处理，在镁铝合金材料层表面形成一层镁薄膜，然后使镁薄膜与氟离子发生化学反应，在镁薄膜的表层生成氟化镁薄膜，或者将整个镁薄膜转化为氟化镁薄膜，所述氟化镁薄膜能够作为保护层对镁铝合金材料层进行保护，由于氟化镁薄膜的结构致密、化学性能稳定，从而能够提高电极板的耐氟离子腐蚀性能，提高化学气相沉积成膜质量。本发明的电极板表面设有氟化镁薄膜，所述氟化镁薄膜能够作为保护层对镁铝合金材料层进行保护，因此所述电极板具有优异的耐氟离子腐蚀性能，能够提高化学气相沉积成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化镁薄膜 电极板 镁薄膜 镁铝合金材料 氟离子 化学气相沉积 腐蚀性能 保护层 成膜 电极板表面 化学反应 表面形成 对电极板 化学性能 结构致密 退火工艺 转化 | ||
【主权项】：
1.一种电极板的表面处理方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供电极板(10)，所述电极板(10)包括镁铝合金材料层(11)；对所述电极板(10)进行退火处理，使一部分镁元素从镁铝合金材料层(11)中析出，在镁铝合金材料层(11)表面形成一层镁薄膜(12)；步骤2、将所述电极板(10)设于密闭腔室中，在所述密闭腔室中通入含有氟离子的等离子体，所述电极板(10)表面的镁薄膜(12)与氟离子发生化学反应，在所述电极板(10)表面形成氟化镁薄膜(13)。
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