[发明专利]一种用于光波导加热电极及其制作方法在审
| 申请号： | 201711325585.4 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108089351A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 傅力;王定理;黄晓东;岳爱文;王任凡 | 申请（专利权）人： | 武汉电信器件有限公司;武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 刘黎明 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电极制作方法，属于光通信技术领域，具体是涉及一种用于光波导加热电极的制作方法。本发明利用双靶共溅射以及金属剥离技术在SiO2光波导上形成TixWyNz加热电极，将所述的TixWyNz图形放入400℃的N2环境退火4小时，随后二次利用溅射金属剥离技术制作出导电电极。相比传统的Ti加热电极，本发明利用双靶反应溅射法制作的TixWyNz加热电极有较高的电阻率高、较低的电阻温度系数和可调控的应力，从而减小了光波导芯片尺寸，提高了光波导芯片的热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热电极 光波导 光波导芯片 金属剥离 光通信技术领域 退火 电阻温度系数 双靶共溅射 导电电极 电极制作 二次利用 反应溅射 热稳定性 传统的 电阻率 可调控 放入 减小 溅射 双靶 制作 | ||
【主权项】：
1.一种光波导加热电极，其特征在于，所述加热电极材料为Tix Wy Nz 。
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