[发明专利]一种用于光波导加热电极及其制作方法在审
| 申请号： | 201711325585.4 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108089351A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 傅力;王定理;黄晓东;岳爱文;王任凡 | 申请（专利权）人： | 武汉电信器件有限公司;武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 刘黎明 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热电极 光波导 光波导芯片 金属剥离 光通信技术领域 退火 电阻温度系数 双靶共溅射 导电电极 电极制作 二次利用 反应溅射 热稳定性 传统的 电阻率 可调控 放入 减小 溅射 双靶 制作 | ||
1.一种光波导加热电极，其特征在于，所述加热电极材料为Ti
2.根据权利要求1所述的光波导加热电极，其特征在于，包括：位于衬底(1)上的光波导(2)，位于所述光波导(2)上的Ti
3.一种光波导加热电极的制作方法，其特征在于，包括：
在刻有加热电极图形的光波导两侧衬底上覆盖光刻胶；
在光波导及光刻胶上镀制Ti
去除光刻胶及附着于光刻胶表面的TixWyNz薄膜，形成叠加于光波导层上的Ti
4.根据权利要求3所述的一种光波导加热电极的制作方法，其特征在于，在光波导及光刻胶上镀制Ti
使用两个溅射靶枪分别控制Ti靶和W靶的工艺参数以获得不同Ti与W比例的Ti
和/或
在溅射时调节Ar与N2的分压比，以可调节Ti
5.根据权利要求3所述的一种光波导加热电极的制作方法，其特征在于，在金属剥离液中去除衬底表面上的光刻胶以及光刻胶表面所附着的Ti
6.根据权利要求3所述的一种光波导加热电极的制作方法，其特征在于，还包括：
在套刻有导电电极图形的TixWyNz加热电极两侧衬底上覆盖光刻胶；
在TixWyNz加热电极及光刻胶上镀制导电薄膜；
去除光刻胶及附着于光刻胶表面的导电薄膜，形成叠加于TixWyNz加热电极上的导电电极。
7.根据权利要求6所述的一种光波导加热电极的制作方法，其特征在于，所述导电电极材料为Au或者Al。
8.根据权利要求3所述的一种光波导加热电极的制作方法，其特征在于，所述Ti
和/或形成叠加于光波导层上的Ti
9.根据权利要求3所述的一种光波导加热电极的制作方法，其特征在于，退火温度为400-500℃，退火时间1-4h，气氛为N2或者真空。
10.根据权利要求4中，Ti与W的质量比为12-14；和/或Ar/N
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