[发明专利]一种用于二维材料精确转移的装置

摘要

本发明公开了一种用于二维材料精确转移的装置，包括：光学显微镜、基底定位平台和样品定位平台，基底定位平台包括：第一三维精密平移台以及固装在该第一三维精密平移台上的恒温加热台，在恒温加热台上放置有一基底；光学显微镜位于基底定位平台的上方；样品定位平台包括：载玻片夹持器、精密摆动平台、精密旋转台和第二三维精密平移台，第二三维精密平移台位于第一三维精密平移台的一侧，精密旋转台和精密摆动平台从下至上固装在第二三维精密平移台上，载玻片夹持器固装在精密摆动平台上。本发明的装置使样品的选择和转移过程，都在光学显微镜的视场中完成，操作精确度高。

主权项

1.一种用于二维材料精确转移的装置，其特征在于，包括：光学显微镜(1)、基底定位平台(2)和样品定位平台(3)，其中，所述基底定位平台(2)包括：第一三维精密平移台(2‑1)以及固装在该第一三维精密平移台(2‑1)上的恒温加热台(2‑2)，在所述恒温加热台(2‑2)上放置有一基底(7)；所述光学显微镜(1)位于所述基底定位平台(2)的上方，用于观察所述基底(7)；所述样品定位平台(3)包括：载玻片夹持器(3‑1)、精密摆动平台(3‑2)、精密旋转台(3‑4)和第二三维精密平移台(3‑6)，所述第二三维精密平移台(3‑6)位于所述第一三维精密平移台(2‑1)的一侧，所述精密旋转台(3‑4)和精密摆动平台(3‑2)从下至上固装在所述第二三维精密平移台(3‑6)上，所述载玻片夹持器(3‑1)固装在所述精密摆动平台(3‑2)上，其中，所述载玻片夹持器(3‑1)包括：旋转臂(3‑1‑1)和压紧块(3‑1‑2)，所述旋转臂(3‑1‑1)靠近所述光学显微镜(1)的一端形成有一腔体，在所述腔体的顶端形成有一通孔，所述压紧块(3‑1‑2)位于所述腔体内，一高头滚花螺钉(3‑1‑3)的下端从所述通孔伸入至所述腔体内并与所述压紧块(3‑1‑2)固装，所述高头滚花螺钉(3‑1‑3)与所述通孔的内壁螺纹连接，所述腔体远离所述精密摆动平台(3‑2)的侧面形成有开口(3‑1‑4)，以使载玻片(6)的一端从所述开口(3‑1‑4)伸入至腔体内并被所述压紧块(3‑1‑2)压紧固装，所述载玻片(6)另一侧的下表面粘接有PDMS薄膜(5)；所述精密摆动平台(3‑2)用于驱动所述载玻片(6)向下倾斜，以使该载玻片(6)与水平面形成一5～10°的夹角；所述精密旋转台(3‑4)用于驱动所述旋转臂(3‑1‑1)在水平方向旋转。