[发明专利]一种用于二维材料精确转移的装置

权利要求书

1.一种用于二维材料精确转移的装置，其特征在于，包括：光学显微镜(1)、基底定位平台(2)和样品定位平台(3)，其中，

所述基底定位平台(2)包括：第一三维精密平移台(2-1)以及固装在该第一三维精密平移台(2-1)上的恒温加热台(2-2)，在所述恒温加热台(2-2)上放置有一基底(7)；

所述光学显微镜(1)位于所述基底定位平台(2)的上方，用于观察所述基底(7)；

所述样品定位平台(3)包括：载玻片夹持器(3-1)、精密摆动平台(3-2)、精密旋转台(3-4)和第二三维精密平移台(3-6)，所述第二三维精密平移台(3-6)位于所述第一三维精密平移台(2-1)的一侧，所述精密旋转台(3-4)和精密摆动平台(3-2)从下至上固装在所述第二三维精密平移台(3-6)上，所述载玻片夹持器(3-1)固装在所述精密摆动平台(3-2)上，其中，

所述载玻片夹持器(3-1)包括：旋转臂(3-1-1)和压紧块(3-1-2)，所述旋转臂(3-1-1)靠近所述光学显微镜(1)的一端形成有一腔体，在所述腔体的顶端形成有一通孔，所述压紧块(3-1-2)位于所述腔体内，一高头滚花螺钉(3-1-3)的下端从所述通孔伸入至所述腔体内并与所述压紧块(3-1-2)固装，所述高头滚花螺钉(3-1-3)与所述通孔的内壁螺纹连接，所述腔体远离所述精密摆动平台(3-2)的侧面形成有开口(3-1-4)，以使载玻片(6)的一端从所述开口(3-1-4)伸入至腔体内并被所述压紧块(3-1-2)压紧固装，所述载玻片(6)另一侧的下表面粘接有PDMS薄膜(5)；

所述精密摆动平台(3-2)用于驱动所述载玻片(6)向下倾斜，以使该载玻片(6)与水平面形成一5～10°的夹角；

所述精密旋转台(3-4)用于驱动所述旋转臂(3-1-1)在水平方向旋转。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述基底定位平台(2)和样品定位平台(3)固装在一基座(4)上。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述基底(7)通过耐高温胶带粘接在所述恒温加热台(2-2)上。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述精密摆动平台(3-2)和精密旋转台(3-4)之间固装有一第一连接件(3-3)。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，在所述精密旋转台(3-4)和第二三维精密平移台(3-6)之间固装有一第二连接件(3-5)。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，在所述压紧块(3-1-2)的底端下安装有一橡胶垫。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，在所述旋转臂(3-1-1)上形成有减重孔，用于减轻所述旋转臂(3-1-1)的重量。