[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用在审
| 申请号： | 201711310758.5 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107841639A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C21/00;C22F1/04;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 王乐 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用，其中，铝钪合金靶坯包括0.1‑15重量份的钪，85‑99.9重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。此外，上述铝钪合金靶坯还具有靶坯晶粒粒度均匀的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种铝钪合金靶坯，其特征在于，所述铝钪合金靶坯包括：0.1‑15重量份的钪，85‑99.9重量份的铝，所述铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于基迈克材料科技（苏州）有限公司，未经基迈克材料科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711310758.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
