[发明专利]一种基板边缘检查机及边缘检查方法在审
| 申请号： | 201711308331.1 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107884417A | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 康强强;郭连俊;杨慎东 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215125 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板边缘检查机及边缘检查方法，包括机座，机座上设有移送部，用于沿第一方向移送基板；旋转部，其安装于移动部上，用于旋转基板，分别使基板的长边方向和短边方向旋转至第一方向；扫描模块，用于扫描处于移送状态的基板的两平行边的上边缘和下边缘；以及安装部，固定于机座上，安装部上安装扫描模块；其中，基板的长边沿第一方向移动时，扫描模块用于扫描两长边的上边缘和下边缘；基板的短边沿第一方向移动时，扫描模块用于扫描两短边的上边缘和下边缘。本发明通过旋转部切换基板的长边、短边至移送方向上，调整扫描模块的位置，以弥补长短边的距离差，可同时进行基板四边的上下边检，大大提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 检查 方法 | ||
【主权项】：
一种基板边缘检查机，其特征在于，包括机座，所述机座上设有：移送部，用于沿第一方向移送基板；旋转部，其安装于所述移动部上，用于旋转基板，分别使基板的长边方向和短边方向旋转至所述第一方向；扫描模块，用于扫描处于移送状态的基板的两平行边的上边缘和下边缘；以及安装部，固定于所述机座上，所述安装部上安装所述扫描模块；其中，基板的长边沿所述第一方向移动时，所述扫描模块用于扫描两长边的上边缘和下边缘；基板的短边沿第一方向移动时，所述扫描模块用于扫描两短边的上边缘和下边缘。
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