[发明专利]一种基板边缘检查机及边缘检查方法

权利要求书

1.一种基板边缘检查机，其特征在于，包括机座，所述机座上设有：

移送部，用于沿第一方向移送基板；

旋转部，其安装于所述移动部上，用于旋转基板，分别使基板的长边方向和短边方向旋转至所述第一方向；

扫描模块，用于扫描处于移送状态的基板的两平行边的上边缘和下边缘；以及

安装部，固定于所述机座上，所述安装部上安装所述扫描模块；

其中，基板的长边沿所述第一方向移动时，所述扫描模块用于扫描两长边的上边缘和下边缘；基板的短边沿第一方向移动时，所述扫描模块用于扫描两短边的上边缘和下边缘。

2.根据权利要求1所述的基板边缘检查机，其特征在于，所述移送部包括安装在所述机座上的两条平行的滑轨、与两条所述滑轨滑动连接的支架、驱动所述支架沿两条所述滑轨移动的第一直线模组；其中，所述滑轨沿第一方向设置。

3.根据权利要求2所述的基板边缘检查机，其特征在于，所述旋转部包括安装在所述支架上的转盘、固定于所述转盘上且随所述转盘转动的基板放置台。

4.根据权利要求3所述的基板边缘检查机，其特征在于，所述转盘可转动的角度为90°-270°。

5.根据权利要求1所述的基板边缘检查机，其特征在于，所述安装部包括固定于所述机座上的龙门架与下部支架，其中所述龙门架位于沿所述第一方向移送中的基板的上方，所述下部支架位于沿所述第一方向移送中的基板的下方。

6.根据权利要求5所述的基板边缘检查机，其特征在于，所述扫描模块包括：

两个上摄像部件，安装于所述龙门架上，用于扫描沿所述第一方向移送中的基板的两平行边的上边缘；

两个下摄像部件，安装于所述下部架上，两个所述下摄像部件用于扫描沿所述第一方向移送中的基板的两平行边的下边缘。

7.根据权利要求6所述的基板边缘检查机，其特征在于，所述龙门架与所述下部支架上各设置有两个第二直线模组，各所述第二直线模组分别与所述上摄像部件和所述下摄像部件连接，且驱动所述上摄像部件和所述下摄像部件沿垂直于所述第一方向的第二方向移动。

8.根据权利要求6所述的基板边缘检查机，其特征在于，所述上摄像部件镜头的轴向中心线与所述下摄像部件镜头的轴向中心线不重合。

9.一种基板边缘检查方法，其特征在于，该方法通过判断对基板边缘进行线扫描而获得的图像来检查基板边缘是否存在缺陷，包含步骤：

S1沿第一方向移送基板；

S2扫描模块扫描处于移送状态的基板的两平行边的上边缘和下边缘；

S3完成对基板的两平行边的边缘扫描后，将基板旋转90°或270°并朝第三方向移送；所述第三方向与所述第一方向相反；

S4调整扫描模块的位置，使扫描模块能够扫描处于移送状态的基板的另外两平行边的上边缘和下边缘。

10.根据权利要求9所述的基板边缘检查方法，其特征在于，还包括步骤：S5根据所述扫描模块的扫描图像，判定所述基板的边缘是否存在缺陷。