[发明专利]一种具有纳米复合异质结构的红外光探测器及其制备方法

摘要

本发明属于光探测技术领域，具体涉及一种具有纳米复合异质结构的红外光探测器，该具有纳米复合异质结构的红外光探测器，由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、WO3‑x‑WSe2复合薄膜层、SiO2绝缘缓冲层、Si单晶基底和金属In背电极。WO3‑x‑WSe2复合薄膜层是通过在Si基底上射频磁控溅射WSe2薄膜及在空气中进行热处理制备的。测试结果显示，所制备薄膜器件表现出良好的红外光响应性能，具有响应速度快等优点。

主权项

1.一种具有纳米复合异质结构的红外光探测器，其特征在于：包括金属In点电极、金属Pd前电极、WO3-x-WSe2复合薄膜层、SiO2绝缘缓冲层、Si单晶基底和金属In背电极，WO3-x-WSe2复合薄膜层设置在Si基底表面，WO3-x-WSe2复合薄膜层厚度为40-100纳米，金属Pd前电极在WO3-x-WSe2复合薄膜层表面，金属In电极分别压制于金属Pd前电极和Si基底表面。