[发明专利]一种光学系统及其冷却装置在审
申请号: | 201711294683.6 | 申请日: | 2017-12-08 |
公开(公告)号: | CN107907960A | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 崔洋;周连生;李佩玥;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 长春国科精密光学技术有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;F25B21/02;F25D17/02;F25D17/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种光学系统的冷却装置,包括一端与气源连接、另一端与光学系统的内腔连通以提供工作气体的气体控制管路;气体控制管路分别设有用于对工作气体的温度进行预处理的温度预处理器、用于对工作气体的温度进行精调节的气液热交换器、用于对工作气体的供气压力进行调节的减压阀,气液热交换器连接有一端与水源连接的液体控制管路;液体控制管路分别设有液体泵、用于对工作液体的压力进行调节的调压阀、用于对工作液体进行冷却温度控制的制冷组件。应用该装置,气体通过温度预处理器进行预处理,并通过气液热交换器连接液体控制管路对工作气体的温度进行精确调节,以为光学系统内部提供稳定温度的冷却气体。本发明还公开了一种光学系统。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学系统 及其 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种光学系统的冷却装置,其特征在于,包括一端与气源连接、另一端与光学系统的内腔连通以提供工作气体的气体控制管路;所述气体控制管路分别设有用于对工作气体的温度进行预处理的温度预处理器、用于对工作气体的温度进行精调节的气液热交换器、用于对工作气体的供气压力进行调节的减压阀,所述气液热交换器连接有一端与水源连接的液体控制管路;所述液体控制管路分别设有液体泵、用于对工作液体的压力进行调节的调压阀、用于对工作液体进行冷却温度控制的制冷组件。
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