[发明专利]平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置

摘要

本发明提供平版印刷装置、物品的制造方法及测量装置。提供对于高精度测量基板边缘位置有利的平版印刷装置。将图案形成于基板的平版印刷装置包括载置台，能保持基板而移动；照射部，从由载置台保持的基板侧方对该基板端部照射第一光；检测部，配置于被照射部照射第一光的基板端部下方，检测在该端部反射的第一光的光强度分布；处理部，根据由校正值校正从第一光的光强度分布得到的基板边缘位置信息的结果，决定基板边缘位置，照射部及检测部设置于载置台，处理部根据在对由载置台保持的基板端部照射第一光的状态下由检测部检测的第一光光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光光路内状态下由检测部检测的第二光光强度分布生成校正值。

主权项

1.一种平版印刷装置，将图案形成于基板，其特征在于，包括：载置台，能够保持基板而移动；照射部，从由所述载置台保持的基板的侧方对该基板的端部照射第一光；检测部，配置于被所述照射部照射所述第一光的基板的端部的下方，检测在该端部反射的所述第一光的光强度分布；以及处理部，根据利用校正值校正从所述第一光的光强度分布得到的所述基板的边缘的位置信息而得到的结果，决定所述基板的边缘位置，所述照射部以及所述检测部设置于所述载置台，所述处理部根据在对由所述载置台保持的基板的端部照射所述第一光的状态下由所述检测部检测出的所述第一光的光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光的光路内的状态下由所述检测部检测出的所述第二光的光强度分布，生成所述校正值。