[发明专利]平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置

说明书

本发明提供平版印刷装置、物品的制造方法及测量装置。提供对于高精度测量基板边缘位置有利的平版印刷装置。将图案形成于基板的平版印刷装置包括载置台，能保持基板而移动；照射部，从由载置台保持的基板侧方对该基板端部照射第一光；检测部，配置于被照射部照射第一光的基板端部下方，检测在该端部反射的第一光的光强度分布；处理部，根据由校正值校正从第一光的光强度分布得到的基板边缘位置信息的结果，决定基板边缘位置，照射部及检测部设置于载置台，处理部根据在对由载置台保持的基板端部照射第一光的状态下由检测部检测的第一光光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光光路内状态下由检测部检测的第二光光强度分布生成校正值。

技术领域

本发明涉及平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置。

背景技术

在FPD(Flat Panel Display，平板显示器)、半导体器件等的制造中，使用将图案形成于玻璃平板、晶片等基板的平版印刷装置。在这样的平版印刷装置中，进行在根据形成于基板的标志的位置的检测结果对基板高精度地进行定位之前测量利用载置台保持的基板的边缘位置来掌握基板的位置的所谓预对准。

作为测量基板的边缘位置的测量装置，例如有对基板的端部照射光来测量基板的边缘位置的光学式测量装置。在专利文献1中公开有通过对利用载置台保持的基板的端部照射光并检测在该端部反射的光从而测量基板的边缘位置的所谓反射光式测量装置。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2001-241921号公报

发明内容

在专利文献1记载的反射光式测量装置中，在对基板的端部实施倒角处理时，有可能在根据在基板的端部反射的光来测量基板的边缘位置而得到的结果中产生测量误差(测量失误)。

因此，本发明的目的在于提供一种对于高精度地测量基板的边缘位置有利的平版印刷装置。

为了达成上述目的，作为本发明的一个方面的平版印刷装置是将图案形成于基板的平版印刷装置，该平版印刷装置的特征在于，包括：载置台，能够保持基板而移动；照射部，从由所述载置台保持的基板的侧方对该基板的端部照射第一光；检测部，配置于被所述照射部照射所述第一光的基板的端部的下方，检测在该端部反射的所述第一光的光强度分布；以及处理部，根据利用校正值校正从所述第一光的光强度分布得到的所述基板的边缘的位置信息而得到的结果，决定所述基板的边缘位置，所述照射部以及所述检测部设置于所述载置台，所述处理部根据在对由所述载置台保持的基板的端部照射所述第一光的状态下由所述检测部检测出的所述第一光的光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光的光路内的状态下由所述检测部检测出的所述第二光的光强度分布，生成所述校正值。

为了达成上述目的，作为本发明的一个方面的物品的制造方法，其特征在于，包括：使用平版印刷装置将图案形成于基板的工序；以及对在所述工序中形成有所述图案的所述基板进行加工的工序，所述平版印刷装置包括：载置台，能够保持基板而移动；照射部，从由所述载置台保持的基板的侧方对该基板的端部照射第一光；检测部，配置于被所述照射部照射所述第一光的基板的端部的下方，检测在该端部反射的所述第一光的光强度分布；以及处理部，根据利用校正值校正从所述第一光的光强度分布得到的所述基板的边缘的位置信息而得到的结果，决定所述基板的边缘位置，所述照射部以及所述检测部设置于所述载置台，所述处理部根据在对由所述载置台保持的基板的端部照射所述第一光的状态下由所述检测部检测出的所述第一光的光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光的光路内的状态下由所述检测部检测出的所述第二光的光强度分布，生成所述校正值。