[发明专利]平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置

权利要求书

1.一种平版印刷装置，将图案形成于第一基板，其特征在于，包括：

载置台，能够保持所述第一基板而移动；

照射部，从由所述载置台保持的所述第一基板的侧方对所述第一基板的端部照射第一光；

检测部，配置于被所述照射部照射所述第一光的所述第一基板的端部的下方，接受在该端部反射的所述第一光，检测与所述第一基板的上表面平行的方向上的所述第一光的光强度分布；以及

处理部，根据利用校正值校正从所述第一光的光强度分布得到的所述第一基板的边缘的位置信息而得到的结果，决定所述第一基板的边缘位置，

所述照射部以及所述检测部设置于所述载置台，

在使所述载置台保持与所述第一基板不同的第二基板的状态下，根据在对所述第二基板的端部照射了所述第一光时由所述检测部检测出的所述第一光的光强度分布和在将所述第二基板的该端部配置于向下方向射出的第二光的光路内时由所述检测部检测出的所述第二光的光强度分布，事先生成所述校正值，

所述第一基板的端部和所述第二基板的端部具有相同的倒角量。

2.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，

所述处理部将使用所述第二基板根据所述第一光的光强度分布和所述第二光的光强度分布生成的所述校正值与所述第二基板的端部的倒角量对应起来存储。

3.根据权利要求2所述的平版印刷装置，其特征在于，

所述处理部在由所述载置台保持具有未被存储有校正值的倒角量的端部的基板的情况下，新生成与该基板对应的校正值。

4.根据权利要求3所述的平版印刷装置，其特征在于，

所述处理部取得由所述载置台保持的基板的端部的倒角量信息，根据该倒角量信息判断是否新生成校正值。

5.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，

所述处理部针对端部的倒角量相同的多个基板应用共同的校正值。

6.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，

所述载置台设置有多个所述照射部以及多个所述检测部，

所述处理部针对利用多个所述检测部分别得到的位置信息应用共同的校正值。

7.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，还包括：

形成部，对由所述载置台保持的所述第一基板照射光或者射束而将图案形成在该第一基板上，

所述载置台构成为能够在所述形成部的下方移动。

8.根据权利要求7所述的平版印刷装置，其特征在于，

还包括射出部，该射出部向下方向射出所述第二光，

所述射出部配置于所述形成部的侧方。

9.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，

根据从所述第一光的光强度分布得到的所述第二基板的边缘的位置信息和从所述第二光的光强度分布得到的所述第二基板的边缘的位置信息之差，生成所述校正值。