[发明专利]一种磁控定向快速移动的微纳米机器人的制备方法

摘要

本发明涉及一种磁控定向快速移动的微纳米机器人的制备方法，其制备包括以下步骤：模板表面清洗；模板与电极相连接：使用磁控溅射仪在导电层金属Cu薄片的两面以及两个模板PCT的各自的一面溅射一层纳米银，然后将获得的导电层金属Cu薄片和两个模板放在一个载玻片上，最下层为其中一个模板，中间为导电层金属Cu薄片，上层为另一个模板，调整位置使两个模板正对，然后压盖另一个载玻片，使三者紧密接触，放到高温箱中进行加热，使溅射的纳米银熔化能够粘连模板与导电层金属；一段时间后关闭高温箱，待样品冷却后取出；电化学沉积纳米线阵列；模板的去除；激光切割样品。

主权项

1.一种磁控定向快速移动的微纳米机器人的制备方法，其制备包括以下步骤：(1)模板表面清洗：在超声清洗仪中用乙醇溶液和稀H2SO4溶液分别对两个聚碳酸酯模板PCT和导电层金属Cu薄片进行清洗，去除表面杂物，之后干燥处理。(2)模板与电极相连接：使用磁控溅射仪在步骤(1)获得的导电层金属Cu薄片的两面以及两个模板PCT的各自的一面溅射一层纳米银，然后将获得的导电层金属Cu薄片和两个模板放在一个载玻片上，最下层为其中一个模板，中间为导电层金属Cu薄片，上层为另一个模板，调整位置使两个模板正对，然后压盖另一个载玻片，使三者紧密接触，放到高温箱中进行加热，使溅射的纳米银熔化能够粘连模板与导电层金属；一段时间后关闭高温箱，待样品冷却后取出；(3)电化学沉积纳米线阵列：将电解液加入电解槽中；采用Pt电极作为正负极，固定好正负极，使二者处于正对位置，将步骤(2)获得的样品的Cu导电层与负极相连，然后将电解槽至于超声波清洗仪中进行振荡，使PCT孔洞中的空气排出，并且让溶液充分浸湿PCT，超声处理后将电解槽转移到恒温水浴磁力搅拌器中，进行化学沉积过程；(4)模板的去除：将步骤(3)沉积完成获得的样品置于二氯甲烷中，在超声波清洗仪中，溶解PCT模板，再用去离子水清洗三次，确保PCT被洗除；(5)激光切割样品：将步骤(4)获得的样品用激光进行切割，得到磁控定向快速移动的微纳米机器人。