[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体

摘要

本申请公开了物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。该物理量传感器包括：基部；配线，配置于所述基部；支撑部，包括接合于所述基部的第一接合部及接合于所述配线的第二接合部；悬架部，连接于所述支撑部；以及电极指，支撑于所述悬架部，其中，所述支撑部包括第一伸出部，该第一伸出部位于所述第一接合部和所述悬架部之间，与所述基部分开。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：

基部；

配线，配置于所述基部；

支撑部，包括接合于所述基部的第一接合部以及接合于所述配线的第二接合部；

悬架部，接合于所述支撑部；以及

电极指，支撑于所述悬架部，

所述支撑部包括第一伸出部，该第一伸出部在俯视观察下位于所述第一接合部与所述悬架部之间，并与所述基部分开。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一接合部的长度在与所述支撑部和所述悬架部排列的方向正交的方向上比所述悬架部的长度长。

3.根据权利要求1或2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一接合部的角部具有圆角。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，所述支撑部包括第二伸出部，该第二伸出部在所述俯视观察下位于所述第一接合部的与所述第一伸出部侧相反一侧，并与所述基部分开。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一伸出部的长度在所述俯视观察下在所述第一伸出部和所述第二伸出部排列的方向上比所述第二伸出部的长度长。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，所述第一接合部设置有缺口部；

在所述俯视观察下，在所述缺口部配置有所述第二接合部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，在所述俯视观察下，所述第一接合部包含所述支撑部的外缘的一部分。

8.一种物理量传感器装置，其特征在于，包括：

权利要求1至7中任一项所述的物理量传感器；以及

与所述物理量传感器进行电连接的电路元件。

9.根据权利要求8所述的传感器装置，其特征在于，

所述物理量传感器和所述电路元件收纳于陶瓷封装。

10.根据权利要求8所述的传感器装置，其特征在于，

所述物理量传感器和所述电路元件被模塑。

11.一种电子设备，其特征在于，

包括权利要求1至7中任一项所述的物理量传感器。

12.一种移动体，其特征在于，包括：

权利要求1至7中任一项所述的物理量传感器；以及

姿势控制装置，基于由所述物理量传感器所输出的信号来检测姿势，并控制所检测出的姿势。