[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体

说明书

本申请公开了物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。该物理量传感器包括：基部；配线，配置于所述基部；支撑部，包括接合于所述基部的第一接合部及接合于所述配线的第二接合部；悬架部，连接于所述支撑部；以及电极指，支撑于所述悬架部，其中，所述支撑部包括第一伸出部，该第一伸出部位于所述第一接合部和所述悬架部之间，与所述基部分开。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。

背景技术

例如，作为可检测加速度的加速度传感器，已知有专利文献1中记载的构成。专利文献1的加速度传感器具备：加速度传感器元件；以及支撑基板及配线基板，将加速度传感器夹在中间而配置。另外，加速度传感器元件具备：固定于支撑基板的支撑部；可动电极部，相对于支撑部可向检测轴方向位移；以及固定于支撑基板的固定电极部。在这样的构成的加速度传感器中，可根据在固定电极部和可动电极部之间形成的静电容量的变化，检测出加速度。

在专利文献1的加速度传感器中，支撑部具备：在其上表面与绝缘层接合的接合部；以及在其下表面与连接金属层接合的接合部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2010/032821号公报

但是，专利文献1的加速度传感器中，支撑部在其下表面仅与连接金属层接合，所以容易因支撑部与连接金属层之间相互的热膨胀系数差而产生应力。

此外，支撑部与连接金属层的接合为硅与金属的接合，所以接合强度可能会不充分。

此外，支撑部在其上表面是经由绝缘层与支撑基板接合的，所以由于支撑部与支撑基板的接合而产生的接合应力可能会施加于支撑部。

因此，有可能会损害支撑部与绝缘层及连接金属层的接合稳定性，或者使温度特性降低。

发明内容

本发明的目的在于，提供在减少支撑部的接合强度降低的同时，可减少温度特性降低的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而发明的，并可通过以下发明实现。

本发明的物理量传感器，其特征在于，具有：基部；配线，配置于所述基部；支撑部，具有接合于所述基部的第一接合部以及接合于所述配线的第二接合部；悬架部，连接于所述支撑部；电极指，支撑于所述悬架部，所述支撑部具有第一伸出部，该第一伸出部位于所述第一接合部和所述悬架部之间，并与所述基部分开。

由此，可得到在减少支撑部的接合强度的降低的同时，可减少温度特性的降低的物理量传感器。

在本发明的物理量传感器中，优选地，所述第一接合部的长度在与所述支撑部和所述悬架部排列的方向正交的方向上比所述悬架部的长度长。

由此，可更有效地减少温度特性的降低。

在本发明的物理量传感器中，优选地，所述第一接合部具有带有圆角的角部。

由此，可抑制应力集中到第一接合部的角部，因此例如可减少由角部引发的支撑部从基部的剥离、或者支撑部出现裂缝的情况。

在本发明的物理量传感器中，优选地，所述支撑部具有第二伸出部，该第二伸出部位于所述第一接合部的与所述第一伸出部侧相反一侧，并与所述基部分开。

由此，可更有效地减少温度特性的降低。

在本发明的物理量传感器中，优选地，所述第一伸出部的长度在所述第一伸出部和所述第二伸出部排列的方向上比所述第二伸出部的长度长。

由此，在抑制大型化的同时，可更好的减少温度特性的降低。