[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体

摘要

提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：

基部；以及

元件部，用于检测物理量，

所述元件部包括：

固定电极部，安装于所述基部；以及

可动部，能够在作为所述物理量的检测轴方向的第一方向上位移，并设置有可动电极部，

所述固定电极部包括沿着与所述第一方向正交的第二方向排列的第一固定电极部和第二固定电极部，

所述第一固定电极部包括：

第一主干部；以及

多个第一固定电极指，设置于所述第一主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第一固定电极指的长度方向沿着所述第二方向，

所述第二固定电极部包括：

第二主干部；以及

多个第二固定电极指，设置于所述第二主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第二固定电极指的长度方向沿着所述第二方向，

所述可动电极部包括沿着所述第二方向排列的第一可动电极部和第二可动电极部，

所述第一可动电极部包括多个第一可动电极指，所述多个第一可动电极指配置于所述第一主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第一可动电极指的长度方向沿着所述第二方向，并与所述第一固定电极指在所述第一方向上相对，

所述第二可动电极部包括多个第二可动电极指，所述多个第二可动电极指位于所述第二主干部的所述第二方向的两侧，所述多个第二可动电极指的长度方向沿着所述第二方向，并与所述第二固定电极指在所述第一方向上相对。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一主干部的长度方向及所述第二主干部的长度方向分别相对于所述第一方向及所述第二方向倾斜。

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一主干部的长度方向及所述第二主干部的长度方向相对于所述第一方向向彼此的相反侧倾斜。

4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上45°以下，

所述第二主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上45°以下。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上30°以下，

所述第二主干部的长度方向相对于所述第一方向的倾斜度为10°以上30°以下。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一固定电极指沿着所述第一方向设置多个，

相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第一固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐减小，

相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第一固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐增大，

所述第二固定电极指沿着所述第一方向设置多个，

相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第二固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐增大，

相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第二固定电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐减小。

7.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

所述第一可动电极指沿着所述第一方向设置多个，

相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第一可动电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐减小，

相对于所述第一主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第一可动电极指的长度方向的长度随着向所述第一方向的一侧逐渐增大，

所述第二可动电极指沿着所述第一方向设置多个，

相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的一侧的多个所述第二可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐增大，

相对于所述第二主干部配置于所述第二方向的另一侧的多个所述第二可动电极指的沿着所述第二方向的长度向所述第一方向的一侧逐渐减小。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

各所述第一可动电极指相对于成对的所述第一固定电极指位于所述第一方向的一侧，

各所述第二可动电极指相对于成对的所述第二固定电极指位于所述第一方向的另一侧。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，包括：

可动部支撑部，支撑所述可动部并安装于所述基部；

第一主干部支撑部，支撑所述第一主干部并安装于所述基部；

以及

第二主干部支撑部，支撑所述第二主干部并安装于所述基部，

所述可动部支撑部与所述基部接合的接合部、所述第一主干部支撑部与所述基部接合的接合部以及所述第二主干部支撑部与所述基部接合的接合部沿着所述第二方向排列。

10.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，

在俯视观察下，所述可动部支撑部位于所述第一固定电极部和所述第二固定电极部之间。

11.根据权利要求10所述的物理量传感器，其特征在于，包括：

连结所述第一主干部和所述第一主干部支撑部的第一连结部；

以及

连结所述第二主干部和所述第二主干部支撑部的第二连结部，

所述第一连结部在俯视观察下，位于所述第一主干部支撑部的与所述可动部支撑部侧相反的一侧，

所述第二连结部在所述俯视观察下，位于所述第二主干部支撑部的与所述可动部支撑部侧相反的一侧。

12.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述可动部在俯视观察下包括包围所述固定电极部的框状部。

13.一种物理量传感器装置，其特征在于，包括：

权利要求1至5中任一项所述的物理量传