[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体

说明书

提供电极指难破损且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。包括：固定电极部、能在X轴方向上位移的可动部和设于可动部的可动电极部。固定电极部包括沿Y轴方向排列的第一、第二固定电极部，第一固定电极部包括从第一主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部包括从第二主干部向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指。可动电极部包括在Y轴方向上排列的第一可动电极部和第二可动电极部，第一可动电极部包括位于第一主干部的Y轴方向的两侧且与第一固定电极指相对的多个第一可动电极指，第二可动电极部包括位于第二主干部的Y轴方向的两侧且与第二固定电极指相对的多个第二可动电极指。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。

背景技术

例如，作为能够检测加速度(物理量)的加速度传感器，已知专利文献1和专利文献2中记载的结构。

专利文献1中公开的加速度传感器包括：基板；可相对于基板在X轴方向(沿检测轴的第一方向)位移的可动部；设置于可动部且排列配置在Y轴方向(与第一方向正交的第二方向)上的第一可动电极部和第二可动电极部；以及固定于基板且排列配置在Y轴方向上的第一固定电极部和第二固定电极部。并且，第一固定电极部具有在Y轴方向的负侧延伸的第一固定电极指，第二固定电极部具有在Y轴方向的正侧延伸的第二固定电极指。并且，第一可动电极部具有第一可动电极指，其从可动部向Y轴方向的正侧延伸，与第一固定电极指在X轴方向上相对，第二可动电极部具有第二可动电极指，其从可动部向Y轴方向的负侧延伸，与第二固定电极指在X轴方向上相对。

专利文献2中公开的加速度传感器包括：基板；可相对于基板在沿检测轴的第一方向位移的可动部；设置于可动部且排列配置在第一方向上的第一可动电极部和第二可动电极部；以及固定于基板且排列配置在第一方向上的第一固定电极部和第二固定电极部。并且，第一固定电极部具有向垂直于第一方向的第二方向两侧延伸的多个第一固定电极指，第二固定电极部具有向第二方向两侧延伸的多个第二固定电极指。并且，第一可动电极部具有第一可动电极指，其从可动部向第二方向两侧延伸，与第一固定电极指在第一方向上相对，第二可动电极部具有第二可动电极指，其从可动部向第二方向两侧延伸，与第二固定电极指在第一方向上相对。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-139505号公报

专利文献2：日本特开2010-238921号公报

然而，在专利文献1和专利文献2所记载的加速度传感器中，存在下述问题，即：第一固定电极指、第二固定电极指以及第一可动电极指、第二可动电极指各自变长，由于冲击等原因，这些电极指容易破损(容易断裂)。

发明内容

本发明的目的在于提供电极指难破损，且具有优异的耐冲击性的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。

本发明用于解决上述课题中的至少一部分而提出，可以通过如下发明来实现。