[发明专利]基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台在审

专利信息
申请号: 201711243519.2 申请日: 2017-11-30
公开(公告)号: CN108199610A 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 徐方超;魏恒志;孙凤;李强 申请(专利权)人: 沈阳工业大学
主分类号: H02N2/02 分类号: H02N2/02;H02N2/04
代理公司: 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 代理人: 周智博;宋铁军
地址: 110870 辽宁省沈*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台,该平台包括:外层支座(3)、沙漏形位移放大机构、压电陶瓷驱动器(2)、对称长臂铰链、工作台(6)和内层基板(7);沙漏形位移放大机构分为x方向沙漏形位移放大机构(1)和Y方向沙漏形位移放大机构(4),对称长臂铰链分为x方向对称长臂铰链(5)和Y方向对称长臂铰链(8);本发明实施例提供的基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台,可以实现工作台的大行程运动。当然,实施本发明的任一产品或方法并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
搜索关键词: 位移放大机构 沙漏形 长臂铰链 微定位平台 压电驱动 方向对称 工作台 对称 压电陶瓷驱动器 大行程运动 内层基板
【主权项】:
1.一种基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台,其特征在于:该平台包括:外层支座(3)、沙漏形位移放大机构、压电陶瓷驱动器(2)、对称长臂铰链、工作台(6)和内层基板(7);沙漏形位移放大机构分为x方向沙漏形位移放大机构(1)和Y方向沙漏形位移放大机构(4),对称长臂铰链分为x方向对称长臂铰链(5)和Y方向对称长臂铰链(8);工作台(6)的一端与Y方向对称长臂铰链(8)连接,工作台(6)的另一端与Y方向沙漏形位移放大机构(4)连接,工作台(6)、Y方向对称长臂铰链(8)和Y方向沙漏形位移放大机构(4)嵌套在内层基板(7)内;内层基板(7)右端与X方向沙漏形位移放大机构(1)连接,左端与x方向对称长臂铰链(5)连接,内层基板(7)、X方向沙漏形位移放大机构(1)和x方向对称长臂铰链(5)嵌套在外层支座(3)内;沙漏形位移放大机构中间设有压电陶瓷驱动器(2),压电陶瓷驱动器顶住沙漏形位移放大机构内部凸缘。
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