[发明专利]基于结构光照明的面形测量装置和方法有效
| 申请号： | 201711238219.5 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108007382B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘辰光;刘俭;赵一轩;陈刚;李勇;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学;北京锐驰恒业仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 崔自京 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于结构光照明的面形测量装置和方法，属于光学显微成像与测量技术领域。本发明专利的技术特点是：装置包括：结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置，实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动，并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理，计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数，获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线，曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度，最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单，轴向扫描速度快，测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 结构 照明 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.基于结构光照明的面形测量装置，其特征在于：包括科勒照明模块、轴向扫描模块和探测模块；所述科勒照明模块按照光线传播方向依次为：科勒照明模块一(1)、振幅型正弦光栅(2)和管镜一(3)；所述轴向扫描模块按照光线传播方向依次为：分光镜一(4)、物镜一(5)、平面反射镜(6)、管镜二(7)、管镜三(8)、分光镜二(9)和物镜二(10)；所述探测模块按照光线传播方向依次为：管镜四(11)和CCD(12)；物镜二(10)的下方设置被测样品(13)；所述科勒照明模块一(1)发出白光，白光经过所述振幅型正弦光栅(2)调制后，依次经过管镜一(3)、分光镜一(4)和物镜一(5)出射到平面反射镜(6)，反射后的光依次经过物镜一(5)、分光镜一(4)、管镜二(7)、管镜三(8)、分光镜二(9)和物镜二(10)后出射到被测样品(13)表面；照射在所述被测样品(13)表面正弦分布的光经样品表面反射后，依次经过物镜二(10)和分光镜二(9)反射，最后被管镜四(11)会聚在所述CCD(12)上，获得图像。
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